[发明专利]对流体流动的物理参数敏感的元件的制造方法以及相应的敏感元件有效
| 申请号： | 201580025465.5 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN106461440B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 克里斯汀·格拉斯;凯瑟琳·多纳特 | 申请（专利权）人： | 奥克西特罗股份公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69;G01K1/08;G01K7/16;G01K13/02;H01C1/028 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨生平;刘晓玲 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流体 流动 物理 参数 敏感 元件 制造 方法 以及 相应 | ||
【权利要求书】：
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