[发明专利]在线型浓度计量装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在线型浓度计量装置，其被组入向半导体制造装置供给有机金属(MO)气体等的原料流体的管线、用于依据吸光光度法的原理测量气体供给管线中的气体浓度。

背景技术

目前，已知被组入半导体制造装置的原料流体供给管线的在线型浓度计(例如专利文献1等)。

图8是表示相关连的浓度计量装置的一例的概略结构。在图8中，从由发光电二极管等构成的光源1所发出的规定波长的光，通过光纤2被传送到光入射部3，经由设置在光入射部3的石英玻璃或蓝宝石玻璃等的窗部件4，入射至气体流路5，在气体流路5内被气体吸收之后，通过对面的窗部件6，在具有光电二极管7的受光部8被受光。光电二极管7将检测出的光转换成电信号并输出，该输出信号通过电配线9，被送至内设有CPU的控制运算部10，由控制运算部10进行规定的运算处理，显示部11显示出气体浓度。控制运算部10也控制对光源1进行电力供给的电源12。光源1能够发出1或是2以上的波长的光。

图8的气体流路5，其详细的截面图如图9所示，具有：形成有气体流路5的金属制的测定单元主体15、通过垫圈16与测定单元主体15连接的光入射部3和通过垫圈17与测定单元主体15连接的受光部8。气体流路5具有：在光入射部3和受光部8之间以直线状被贯通形成而成为光路L的光路用气体流路部5a、以及与光路用气体流路部5a连通且在测定单元主体15的底面15a开口的左右一对连通部5b、5c。光入射部3安装有窗部件4和光纤2。受光部8安装有窗部件6和光电二极管7。在测定单元主体15的底面15a上连接有气体流入侧的接头20和气体流出侧的接头21。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-206045号公报

发明内容

但是，图9所示的构造的在线型浓度计量装置，如果MO气体流动，有机金属材料会在窗部件4、6上堆积，有必须频繁更换窗部件4、6的问题。

如图10放大所示的那样，本发明人等悉心研究的结果发现：例如涉及窗部件4，因为在窗部件4的附近产生气体容易滞留的死空间(无效空间)D，所以如果MO气体流动，有机金属材料容易在窗部件4上堆积。对于窗部件6(图9)也同样。

于是，为了解决上述问题，本发明所涉及的在线型浓度计量装置的第一方式，具有：测定单元主体，其形成有气体流路；光入射部，其与该测定单元主体连接且具有窗部件；和受光部，其与上述测定单元主体连接且具有窗部件，上述气体流路具有：光路用气体流路部，其在上述光入射部的窗部件和上述受光部的窗部件之间形成为直线状而成为光路；第一连通部，其从形成于上述测定单元主体的气体流入口连通至上述光路用气体流路部；和第二连通部，其从形成于上述测定单元主体的气体流出口连通至上述光路用气体流路部，上述第一连通部从上述气体流入口向着上述光入射部的窗部件倾斜延伸。

本发明所涉及的在线型浓度计量装置的第二方式，在上述第一方式中，上述第二连通部从上述气体流出口向着上述受光部的窗部件倾斜延伸。

本发明所涉及的在线型浓度计量装置的第三方式，具有：测定单元主体，其形成有气体流路；光入射部，其与该测定单元主体连接且具有窗部件；和受光部，其与上述测定单元主体连接且具有窗部件，上述气体流路具有：光路用气体流路部，其在上述光入射部的窗部件和上述受光部的窗部件之间形成为直线状而成为光路；第一连通部，其从形成于上述测定单元主体的气体流入口连通至上述光路用气体流路部；和第二连通部，其从形成于上述测定单元主体的气体流出口连通至上述光路用气体流路部，上述第二连通部从上述气体流出口向着上述受光部的窗部件倾斜延伸。

本发明所涉及的在线型浓度计量装置的第四方式，在上述第一或第三方式中，上述第一连通部的流路截面积比上述光路用气体流路部的流路截面积小。

本发明所涉及的在线型浓度计量装置的第五方式，在上述第一或第三方式中，上述光入射部具有保持体，上述保持体保持光纤，并在上述保持体与上述测定单元主体之间夹持有所述窗部件，在上述测定单元主体和上述保持体的一方形成嵌合凹部，同时，在上述测定单元主体和上述保持体的另一方形成嵌合于该嵌合凹部的嵌合凸部，上述窗部件被夹持于上述嵌合凹部的凹底、上述嵌合凸部和突端面之间。

本发明所涉及的在线型浓度计量装置的第六方式，在上述第五方式中，上述嵌合凹部形成为带台阶凹部，并且上述嵌合凸部形成为与上述带台阶凹部嵌合的带台阶凸部，通过上述嵌合凹部的台阶部和上述嵌合凸部的台阶部相互抵接而形成密封面。