[发明专利]包含钼和铜的多层膜用蚀刻液、蚀刻浓缩液以及蚀刻方法

权利要求书

1.一种包含钼和铜的多层膜用蚀刻液，其特征在于，含有：

蚀刻液总量的4.0质量％～5.8质量％的过氧化氢、

蚀刻液总量的1质量％～7质量％的酸性有机酸、

蚀刻液总量的0.5质量％～2.0质量％的胺化合物、

蚀刻液总量的0.5质量％～2.0质量％的过氧化氢分解抑制剂、

唑类、和

包含铝盐的防析出剂，

所述酸性有机酸使用甲酸、乙酸、丙酸、乳酸、乙醇酸、二甘醇酸、丙酮酸、丙二酸、丁酸、羟基丁酸、酒石酸、琥珀酸、苹果酸、马来酸、富马酸、戊酸、戊二酸、衣康酸、己酸、己二酸、柠檬酸、丙烷三羧酸、反式乌头酸、庚酸、辛酸、月桂酸、肉豆蔻酸、棕榈酸、硬脂酸、油酸、亚油酸、亚麻酸、苯甲酸、水杨酸、扁桃酸、邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、氨基甲酸、丙氨酸、甘氨酸、天冬酰胺、天冬氨酸、肌氨酸、丝氨酸、谷氨酰胺、谷氨酸、4-氨基丁酸、亚氨基二丁酸、精氨酸、亮氨酸、异亮氨酸、氮川三乙酸中的至少一种，

所述胺化合物单独使用下述化合物或组合多种下述化合物来使用：乙二胺、三亚甲基二胺、四亚甲基二胺、1,2-丙二胺、1,3-丙二胺、N,N-二甲基-1,3-丙二胺、N,N-二乙基-1,3-丙二胺、1,3-二氨基丁烷、2,3-二氨基丁烷、五亚甲基二胺、2,4-二氨基戊烷、六亚甲基二胺、七亚甲基二胺、八亚甲基二胺、九亚甲基二胺、N-甲基乙二胺、N,N-二甲基乙二胺、三甲基乙二胺、N-乙基乙二胺、N,N-二乙基乙二胺、三乙基乙二胺、1,2,3-三氨基丙烷、肼、三(2-氨基乙基)胺、四(氨基甲基)甲烷、二亚乙基三胺、三亚乙基四胺、四亚乙基五胺、七亚乙基八胺、九亚乙基十胺、二氮杂二环十一碳烯、乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-氨基乙基乙醇胺、N-丙基乙醇胺、N-丁基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、1-氨基-2-丙醇、N-甲基异丙醇胺、N-乙基异丙醇胺、N-丙基异丙醇胺、2-氨基丙烷-1-醇、N-甲基-2-氨基-丙烷-1-醇、N-乙基-2-氨基-丙烷-1-醇、1-氨基丙烷-3-醇、N-甲基-1-氨基丙烷-3-醇、N-乙基-1-氨基丙烷-3-醇、1-氨基丁烷-2-醇、N-甲基-1-氨基丁烷-2-醇、N-乙基-1-氨基丁烷-2-醇、2-氨基丁烷-1-醇、N-甲基-2-氨基丁烷-1-醇、N-乙基-2-氨基丁烷-1-醇、3-氨基丁烷-1-醇、N-甲基-3-氨基丁烷-1-醇、N-乙基-3-氨基丁烷-1-醇、1-氨基丁烷-4-醇、N-甲基-1-氨基丁烷-4-醇、N-乙基-1-氨基丁烷-4-醇、1-氨基-2-甲基丙烷-2-醇、2-氨基-2-甲基丙烷-1-醇、1-氨基戊烷-4-醇、2-氨基-4-甲基戊烷-1-醇、2-氨基己烷-1-醇、3-氨基庚烷-4-醇、1-氨基辛烷-2-醇、5-氨基辛烷-4-醇、1-氨基丙烷-2,3-二醇、2-氨基丙烷-1,3-二醇、三(羟甲基)氨基甲烷、1,2-二氨基丙烷-3-醇、1,3-二氨基丙烷-2-醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、2-(2-氨基乙基氨基)乙醇、或二甘醇胺，

所述过氧化氢分解抑制剂包含苯基脲、烯丙基脲、1,3-二甲基脲、硫脲、苯乙酰胺、苯基乙二醇、1-丙醇或2-丙醇中的至少一种，

所述唑类包含1H-苯并三唑、5-甲基-1H-苯并三唑、3-氨基-1H-三唑、1H-四唑、5-甲基-1H-四唑、5-苯基-1H-四唑、5-氨基-1H-四唑、1H-咪唑、1H-苯并咪唑、1,3-噻唑或4-甲基噻唑中的至少一种，

所述包含铝盐的防析出剂为硫酸铝、硝酸铝、氯化铝、乳酸铝、乙酸铝或碳酸铝中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的包含钼和铜的多层膜用蚀刻液，其特征在于，所述铝盐包含乳酸铝或硝酸铝中的任一者。

3.根据权利要求1所述的包含钼和铜的多层膜用蚀刻液，其特征在于，所述酸性有机酸包含乙醇酸、丙二酸、乳酸中的至少1种。

4.根据权利要求1所述的包含钼和铜的多层膜用蚀刻液，其特征在于，所述胺化合物为1-氨基-2-丙醇。

5.根据权利要求1所述的包含钼和铜的多层膜用蚀刻液，其特征在于，所述过氧化氢分解抑制剂为苯基脲。

6.根据权利要求1所述的包含钼和铜的多层膜用蚀刻液，其特征在于，所述唑类为1H-四唑-5-胺。

7.根据权利要求1所述的包含钼和铜的多层膜用蚀刻液，其特征在于，所述防析出剂中包含β-丙氨酸。