[发明专利]共聚焦线检验光学系统有效
| 申请号： | 201580020492.3 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN106233125B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 马克·S·王;克里斯·柯克;安德烈·哈里索夫 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚焦 检验 光学系统 | ||
【权利要求书】：
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