[发明专利]成膜装置、有机膜的膜厚测量方法以及有机膜用膜厚传感器在审
| 申请号： | 201580020079.7 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN106232858A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 伊藤敦;深尾万里;小林义和 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;G01B7/06;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙)11017 | 代理人： | 韩登营;蒋国伟 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 有机 测量方法 以及 膜用膜厚 传感器 | ||
【说明书】：
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