[发明专利]基板处理装置、器件制造方法及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：

搬送装置，其一边通过旋转筒支承长条片状的基板的一部分，一边通过所述旋转筒绕中心线的旋转而使所述基板沿长度方向移动，其中，所述旋转筒具有相对于所述中心线以一定半径弯曲而成的圆筒状的外周面；和

描绘装置，其具有多个描绘单元，该多个描绘单元向由所述外周面支承的所述基板上投射经调制的描绘光束，同时在与所述长度方向交叉的所述基板的宽度方向上以比该基板的宽度小的范围进行扫描，并沿着通过该扫描得到的描绘线描绘出规定的图案，将所述描绘装置中的所述多个描绘单元沿所述基板的宽度方向配置，以使得通过该多个描绘单元的各描绘线在所述基板上描绘出的图案彼此伴随着所述基板向长度方向的移动而在所述基板的宽度方向上接合在一起；

移动测量装置，其包括标尺部和编码器读头，所述标尺部被设置成与所述旋转筒一起旋转并具有在相对于所述旋转筒的中心线具有规定半径的周向上形成的刻度，所述编码器读头与该标尺部的刻度相对地配置并用于输出与由所述搬送装置搬送的所述基板的移动量或移动位置相对应的移动信息；以及

控制部，其预先存储有与所述描绘线的相互的位置关系有关的校准信息，并且基于该校准信息和从所述移动测量装置输出的所述移动信息来调整通过所述多个描绘单元各自的所述描绘光束而在所述基板上形成的图案的描绘位置，其中，所述描绘线是由所述多个描绘单元分别形成在所述基板上的。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述多个描绘单元被配置成，以使得在所述基板上描绘出彼此接合的图案的相邻描绘单元中的一个是第奇数个描绘单元而另一个是第偶数个描绘单元时，分别通过该第奇数个描绘单元形成的第奇数条描绘线和分别通过所述第偶数个描绘单元形成的第偶数条描绘线在所述旋转筒的外周面的周向上位于具有一定角度间隔的位置。

3.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述第奇数条描绘线以分别在所述基板上与所述旋转筒的所述中心线大致平行的方式沿所述基板的宽度方向配置成一列，所述第偶数条描绘线以分别在所述基板上与所述旋转筒的所述中心线大致平行的方式在所述基板的宽度方向配置成一列。

4.如权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，

所述移动测量装置的所述编码器读头包括：

第1编码器读头，该第1编码器读头在与从所述旋转筒的所述中心线观察配置成所述一列的所述第奇数条描绘线时的第1方位相同的方向，与所述标尺部的刻度相对地配置；和

第2编码器读头，该第2编码器读头在与从所述旋转筒的所述中心线观察配置成所述一列的所述第偶数条描绘线时的第2方位相同的方向，与所述标尺部的刻度相对地配置。

5.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，

所述第1方位和所述第2方位被设定为使得所述第1编码器读头和所述第2编码器读头以空间上不发生干涉的状态设置在所述标尺部的刻度的周围那样的角度范围。

6.如权利要求1至5中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述基板处理装置还具有基板图案检测装置，该基板图案检测装置包括用于对沿所述长度方向离散地或连续地形成在所述基板上的特定图案进行检测的检测探针，所述基板图案检测装置配置在所述旋转筒的周围，以使得该检测探针对所述基板上的检测区域与通过各所述多个描绘单元所形成的所述描绘线相比设定在所述基板的搬送方向的上游侧，

所述控制部基于所述校准信息、从所述移动测量装置输出的所述移动信息、以及所述检测探针通过所述检测区域所检测到的所述特定图案的位置信息，执行由所述描绘光束进行的图案的描绘位置的调整。

7.如权利要求1至5中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述控制部执行的所述描绘位置的调整包含对由所述搬送装置搬送的所述基板的移动速度进行变更的处理。

8.如权利要求1至5中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述控制部执行的所述描绘位置的调整包括对所述长度方向上的所述基板的每单位时间的移动距离与该移动距离内含有的所述描绘线的条数之间的关系进行变更的处理。