[发明专利]用于高磁性材料的溅射系统及方法在审
| 申请号： | 201580017459.5 | 申请日： | 2015-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN106133181A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | D·W·布朗;T·布鲁克 | 申请（专利权）人： | 因特瓦克公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 磁性材料 溅射 系统 方法 | ||
【说明书】：
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