[发明专利]用于大面积沉积的小掩模铺设技术在审
| 申请号： | 201580013400.9 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN106103789A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 布莱恩·阿瑟·布奇;斯科特·阿龙·劳尔 | 申请（专利权）人： | 阿德文泰克全球有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾红霞;张芸 |
| 地址： | 英属维尔京*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 大面积 沉积 小掩模 铺设 技术 | ||
【说明书】：
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