[发明专利]微热板上的基于CMOS的半导体设备及其制造方法有效
| 申请号： | 201580011862.7 | 申请日： | 2015-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN106164661B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | F·乌德雷亚;S·Z·阿里;J·加德纳 | 申请（专利权）人： | AMS传感器英国有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/14 | 分类号： | G01N27/14;H05B3/26 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 金旭鹏;肖冰滨 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微热板上 基于 cmos 半导体设备 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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