[发明专利]表面涂覆方法及实施所述方法的装置在审
| 申请号： | 201580009885.4 | 申请日： | 2015-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN106536063A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | D·格罗索;B·路易斯 | 申请（专利权）人： | 皮埃尔-玛丽-居里大学（巴黎第六大学）;国家科学研究中心 |
| 主分类号： | B05B5/03 | 分类号： | B05B5/03;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 陈万青,姚开丽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 搜索关键词： | 表面 方法 实施 装置 | ||
【说明书】：
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