[发明专利]滑动部件

权利要求书

1.一种滑动部件，其特征在于，

在一对滑动部件的彼此相对滑动的一侧的滑动面上设置有流体循环槽，所述流体循环槽由从高压流体侧进入的入口部、向高压流体侧排出的出口部、以及将所述入口部和所述出口部连通的连通部构成，所述流体循环槽借助于台面部与低压流体侧隔离开，在被所述流体循环槽和高压流体侧围着的部分处设置有正压产生机构，所述正压产生机构具有比所述流体循环槽浅的正压产生槽，所述正压产生槽与所述入口部连通，并借助于台面部与所述出口部及所述高压流体侧隔离开，所述正压产生槽是通过超短脉冲激光的照射而形成的，且是深度为0.05μm～5μm的范围的浅槽，所述正压产生槽的底面的粗糙度Ra为加工深度的1/10以下，加工部的边缘的由碎片产生的隆起小于0.01μm。

2.根据权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，

在所述一侧的滑动面的被所述流体循环槽和高压流体侧围着的部分的外侧设置有负压产生机构，所述负压产生机构由比所述流体循环槽浅的负压产生槽构成，所述负压产生槽与所述入口部连通，并借助于台面部与所述出口部及所述低压流体侧隔离开，所述负压产生槽是通过超短脉冲激光的照射而形成的，且是深度为0.05μm～5μm的范围的浅槽，所述负压产生槽的底面的粗糙度Ra为加工深度的1/10以下，加工部的边缘的由碎片产生的隆起小于0.01μm。

3.一种滑动部件，其特征在于，

在一对滑动部件的彼此相对滑动的一侧的滑动面上，面向高压流体侧设置有动压产生用的台面部，并且面向低压流体侧设置有密封面，所述台面部和所述密封面以在径向上隔离开的方式配设，所述滑动面的除所述台面部和所述密封面之外的部分形成为比这些面低，构成为流体连通通道兼正压产生槽，所述流体连通通道兼正压产生槽是通过超短脉冲激光的照射而形成的，且是深度为0.05μm～5μm的范围的浅槽，所述流体连通通道兼正压产生槽的底面的粗糙度Ra为加工深度的1/10以下，加工部的边缘的由碎片产生的隆起小于0.01μm。

4.根据权利要求3所述的滑动部件，其特征在于，

在所述密封面的高压流体侧设置有由负压产生槽构成的负压产生机构，所述负压产生槽的下游侧与所述流体连通通道兼正压产生槽连通，所述负压产生槽是通过超短脉冲激光的照射而形成的，且是深度为0.05μm～5μm的范围的浅槽，所述负压产生槽的底面的粗糙度Ra为加工深度的1/10以下，加工部的边缘的由碎片产生的隆起小于0.01μm。