[发明专利]用于组合式明场、暗场及光热检验的设备及方法有效
| 申请号： | 201580008360.9 | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN106030292B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | L·尼古拉德斯;M·马哈德凡;A·萨利尼克;S·A·永 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/39;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 组合式 暗场 光热 检验 设备 方法 | ||
【说明书】：
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