[发明专利]构造体及成膜方法有效
| 申请号： | 201580006176.0 | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN105939847B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 市冈圣菜;吉牟田利典;德田敏;今井大辅;尾崎悟;德嵩佑 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | B32B15/08 | 分类号： | B32B15/08;B32B15/082;C23C14/02;C23C14/14;C23C16/42;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 构造 方法 | ||
【说明书】：
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