[发明专利]管型臭氧产生装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种管型臭氧产生装置，其中特别涉及放电管的构造。

背景技术

臭氧具有强力的氧化作用，在作用后会分解为无害的氧等。因此，在半导体制造、食品制造、水处理等领域中，经常使用臭氧来进行清洗、杀菌、除臭等处理。

像这样的产生臭氧的臭氧产生装置多采用无声放电方式。

在无声放电方式的臭氧产生装置中，在隔着介电质对置的一对电极之间设有空隙(放电间隙(discharge gap))。在一对电极之间施加高电压，就会在放电间隙产生无声放电。使含氧原料气体流过放电间隙，从而原料气体臭氧化，产生臭氧。

在采用这样的无声放电方式的臭氧产生装置中，存在管型的臭氧产生装置。在管型臭氧产生装置中，使用呈管状的放电管作为介电质，该介电质构成产生臭氧的单元。就管型臭氧产生装置来说，由于能够将多根放电管密集地平行布置，因此具有容易大型化的优点。

管型臭氧产生装置中的放电管的构造已公开在例如专利文献1、专利文献2中。

在专利文献1的臭氧产生装置中设有圆筒状的玻璃制介电质管，其一端呈球面状地封闭起来。在该介电质管的内表面上，具体而言，在从介电质管的球面状端部起直到侧部之间的部分的内表面上形成有第一电极。

在介电质管上，以围住介电质管的外侧的方式布置有圆筒状第二电极，在介电质管和第二电极之间形成有放电间隙。

原料气体在通过被施加了高电压的放电间隙的期间中臭氧化。臭氧化后的气体从球面状端部所在的臭氧化气体引出口被引出。

在专利文献2中也公开了与专利文献1的第一电极同样地金属蒸镀而成的导电膜。

专利文献1：日本公开专利公报特开2012-144425号公报

专利文献2：国际公开WO-A1-2010021022号公报

发明内容

－发明要解决的技术问题－

由于现有的电极是通过金属蒸镀而形成在介电质管的内周面上，因此无法从介电质管上分离下来。由此，当必须更换电极时，就只能更换整个介电质管。由于通过金属蒸镀来形成电极这一方式的特殊性较高，因此有生产性较差的缺点。

于是，本发明的目的在于提供一种管型臭氧产生装置，其电极能够更换，而且电极也能够较容易地形成。

需要说明的是，本申请人先提出了与本发明相关的发明(日本特愿2012-253606)。

－用以解决技术问题的技术方案－

本发明的管型臭氧产生装置所具备的臭氧产生单元具有筒状外侧电极管、以及隔着放电间隙布置在所述外侧电极管的内侧的放电管。所述放电管具有：至少在一端部具有开口的筒状的介电质管；设置为与所述介电质管的内周面紧密相接的圆筒状的电极膜；以及与外部电源相连接而向所述电极膜供电的供电部件。

所述电极膜是以沿着所述介电质管的长度方向螺旋状地错开的状态布置具有弹性的导体而形成的。

根据该臭氧产生装置，设置在介电质管内的圆筒状电极膜是在可拆卸的状态下插入介电质管内的。因此，能够将电极膜从介电质管上卸下来进行更换。

而且，该电极膜是通过将具有弹性的导体螺旋状地布置在介电质管内而形成的，因此即使是开口较小而总长度较长的介电质管，也能够容易地设置电极膜。

也就是说，只要是具有弹性的导体，就能够通过以相对于例如细长的引导棒错开位置的状态螺旋状地卷绕在该引导棒上而形成为细长的圆筒状。然后，将卷绕有导体的引导棒插入介电质管内，并解开对导体的束缚而使导体从引导棒上松开来，导体就会利用本身的弹力扩张开来，因此能够形成与介电质管的内周面紧密相接的圆筒状电极膜。在该情况下，将导体从引导棒上松开后，就不需要使用引导棒。因此，比起相关的发明，能够减轻与引导棒相当的重量。

优选：所述电极膜利用本身的弹力在所述介电质管的内部扩张开来而与该介电质管的内周面紧密相接。

通过利用电极膜本身的弹力，就能够不对电极膜施加外力地使电极膜与介电质管的内周面紧密相接，因此装置的制作更为容易。

优选：所述电极膜是以一边使所述导体螺旋状地错开，一边使该导体重叠两层以上的状态布置该导体而形成的。

通过将导体重叠两层以上，导体就容易在介电质管内部扩张开来，能够更可靠地使电极膜与介电质管的内周面紧密相接。

优选：所述电极膜具有从所述开口露出来的露出端部。