[实用新型]一种基板处理装置有效
| 申请号： | 201521145185.1 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205473963U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 申屠江民;乐卫文;张平;祝宇 | 申请（专利权）人： | 浙江金徕镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321016 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 处理 装置 | ||
【说明书】：
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