[实用新型]一种蓝色真空镀膜结构有效
申请号: | 201521136626.1 | 申请日: | 2015-12-31 |
公开(公告)号: | CN205368484U | 公开(公告)日: | 2016-07-06 |
发明(设计)人: | 石春放;黄红勇;段小燕;段巧琴 | 申请(专利权)人: | 深圳市鑫景源科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/14 | 分类号: | C23C14/14;C23C14/08;C23C28/00 |
代理公司: | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人: | 杜启刚 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝色 真空镀膜 结构 | ||
[技术领域]
本实用新型涉及真空镀膜,尤其涉及一种蓝色真空镀膜结构。
[背景技术]
传统的蓝色真空镀膜结构在基材上真空镀ZrCN膜或ALN膜,其中ZrCN膜采用多弧离子镀,ALN膜采用磁控溅射镀。以上的蓝色真空镀膜结构存在以下缺点:
1.镀制的ZrCN膜,被人手触摸之后,手印很难擦拭干净,同时其膜层会被手汗腐蚀产生变色。
2.ZrCN膜层采用多弧离子镀,镜面效果的工件采用该工艺时,因等离子体的能量过高,会使镜面发麻、发蒙。
3.镀制ALN膜层的工件暴露在空气中时,其膜层中的Al很容易被空气中的氧气氧化,致膜层产生变色。
4.ZrCN与ALN的膜系结构,其LAB中的B值不够小,即颜色不够艳丽。
[发明内容]
本实用新型要解决的技术问题是提供一种手印容易擦拭、不易变色的蓝色真空镀膜结构。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是,一种蓝色真空镀膜结构,包括基材、蓝色膜和AF透明保护膜,AF透明保护膜覆盖在蓝色膜的顶面;蓝色膜覆盖在基材的顶面。
以上所述的蓝色真空镀膜结构,所述的基材为金属基材或陶瓷基材。
以上所述的蓝色真空镀膜结构,包括Cr底膜和过渡膜,Cr底膜镀在基材的顶面,过渡膜镀在Cr底膜的顶面,蓝色膜镀在过渡膜的顶面,蓝色膜镀在基材的顶面。
以上所述的蓝色真空镀膜结构,所述的蓝色膜是TinO膜。
以上所述的蓝色真空镀膜结构,Cr底膜的厚度为0.1-1.0μm。
以上所述的蓝色真空镀膜结构,过渡膜的厚度为0.1-0.3μm。
以上所述的蓝色真空镀膜结构,AF透明保护膜的厚度为100-500nm。
本实用新型蓝色真空镀膜结构的手印容易擦除、膜层不易变色。
[附图说明]
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型实施例蓝色真空镀膜结构的示意图。
图1中,1-基材,2-Cr底膜,3-Cr-Ti过渡膜,4-TinO蓝色膜,5-AF透明保护膜。
[具体实施方式]
本实用新型实施例蓝色真空镀膜结构如图1所示,包括基材、Cr底膜、Cr-Ti过渡膜、TinO蓝色膜和AF透明保护膜。基材可以是金属基材或陶瓷基材。
本实用新型实施例蓝色真空镀膜结构,通过以下步骤完成:
101、把工件放置到磁控溅射镀膜机的真空室中,真空室中充入氩气;
102、采用真空磁控溅射方式在工件的基材表面镀制Cr底膜;
103、采用真空磁控溅射方式在Cr底膜上镀制Cr-Ti过渡膜;
104、采用真空磁控溅射方式在Cr-Ti过渡膜上镀制TinO蓝色膜;
105、采用真空蒸镀方式在TinO蓝色膜上镀制AF透明保护膜。
其中,Cr底膜可以增加膜层与基材的结合力;过渡膜层可增加膜层的结合力,同时逐步生产的多膜层结构,可提高膜层的致密度。
TinO蓝色膜颜色的LAB值范围为:L为35至70,A为-10至3,B为-5至-30。
本实用新型以上实施例相比于现有技术具有以下优点:
相比单膜系镀膜,采用多膜层逐层镀膜的膜系结构,使膜层更致密。采用Ti靶镀制蓝色膜层,其膜层颜色中的B值可以做到-30左右,相对Zr靶与Al靶镀制的颜色,此颜色更艳丽。在工艺最后阶段增加AF膜层,有效保护蓝色膜层,使复合膜层具有防指纹、不易变色的特性。
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