[实用新型]自动化用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶棒夹具技术领域，尤其涉及一种自动化用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具。

背景技术

蓝宝石晶体为各向异性的晶体材料，并具有优异的电、光、热、力学特性。近几年来，随着晶体在光电子、信息产业中应用的扩展，对晶片加工精度提出了很高要求，而作为外延生长基板的晶体材料对晶面角度取向加工精度更是提出了严格要求。因此确保晶体从毛坯加工成成品中晶面角度取向精度是生产高质量器件和基板的重要环节。

蓝宝石晶棒的加工工艺为：晶锭掏棒→晶棒切两端→晶棒端面研磨→磨OF基准面→切片。蓝宝石晶棒在切片加工前必须对晶棒进行测定结晶方向后进行晶棒的定位面(参考平面)的加工。这样，一方面可以确保其在切片机上的正确位置，另一方面，识别蓝宝石晶棒或晶片上的特定的结晶方向，有利于晶片在后续工序中的识别、定位要求。

对晶棒定位面加工的普遍方法是在定向仪上放置料板，对晶棒进行测定结晶方向后就在定向仪上将晶棒粘接到料板上，再将整体放置于研磨机上进行晶棒定位面的加工。该方法由于人工粘接晶棒存在操作误差，从而对晶棒结晶方向定位会带来一定的偏差，会影响后续晶片的加工；另外，加工后还要对粘接的晶棒进行去胶处理，既费功费力，又生产效率低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决现有技术中蓝宝石晶棒定位夹具定位不准，生产效率低的技术问题，本实用新型提供一种自动化用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种自动化用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，包括可拆卸连接的上夹具和下夹具，所述下夹具上表面上开设有V型槽，上夹具用于将蓝宝石晶棒固定在V型槽内，所述V型槽包括分布在两侧且相互对称的左斜面和右斜面，左斜面和右斜面上均开设有相互对称的滑轮槽，滑轮槽内安装有转轴，转轴上套装有滚轮，转轴与下夹具的长度方向相平行，滚轮与左斜面/右斜面相切或略外凸于左斜面/右斜面。左斜面和右斜面上的转轴均连接有同步电机。本实用新型将蓝宝石晶棒定位夹具分成上下两部分，通过在左斜面和右斜面上增加滚轮，可以自动旋转晶棒，调节晶棒位置，便于蓝宝石晶棒加工前的位置调整，定位精准，节省人力。

为了便于安装上夹具，所述V型槽的长度L1与下夹具的长度L2一致，V型槽槽口的左侧至下夹具的左端设有左平面，V型槽槽口的右侧至下夹具的右端设有右平面，所述的左平面和右平面上开设有螺钉安装孔。

为了使得蓝宝石晶棒左右固定牢固，位置不易偏移，所述上夹具分为左固定块和右固定块，左固定块的下底面与左平面相配合且固定连接，左固定块的右端面呈斜面，且右端面与V型槽内的左侧面形成开口向右的V形开口，右固定块的下底面与右平面相配合且固定连接，右固定块的左端面呈斜面，且左端面与V型槽内的右侧面形成开口向左的V形开口。

为了便于安装螺钉，所述左固定块和右固定块等高均为h1，所述左固定块的左端面和右固定块的右端面均开设有U型槽，U型槽的长度也为h1，所述U型槽的内壁上设有U型卡台，U型槽与螺钉安装孔相配合，所述U型槽的槽宽d1略大于待安装螺钉的螺帽的外径，U型卡台卡口的宽度d2略大于待安装螺钉的螺杆的外径且略小于待安装螺钉的螺帽的外径。

为了便于排泄，所述V型槽的底部还开设有排泄槽。

为了便于调整蓝宝石晶棒的高度，便于加工，所述下夹具的底部还安装有升降调节装置。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的自动化用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具，通过上、下夹具配合固定的方式实现了晶棒的灵活夹持与定向，通过在左斜面和右斜面上增加滚轮，可以自动旋转晶棒，调节晶棒位置，便于蓝宝石晶棒加工前的位置调整，定位精准，节省人力。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型自动化用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具的结构示意图。

图2是本实用新型自动化用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具的下夹具的俯视图。

图3是本实用新型自动化用于蓝宝石晶棒OF面加工的定向夹具的上夹具的俯视图。

图中：11、左固定块，12、右固定块，13、开口向右的V形开口，14、开口向左的V形开口，15、U型槽，16、U型卡台，2、下夹具，21、左斜面，22、右斜面，23、滑轮槽，24、转轴，25、滚轮，26、左平面，27、右平面，28、螺钉安装孔，29、排泄槽，3、升降调节装置。

具体实施方式