[实用新型]一种石墨框承载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石墨框承载装置，具体是指应用于太阳能电池生产过程中 PECVD设备上的石墨框。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清 洁、最普遍和最有潜力的替代能源。因此，太阳能电池得到了世界各国的重视，目前也已经 取得了极大的发展。

现有技术中，在太阳能电池的制备过程中，一般需要对硅片进行镀减反射膜的步 骤。目前，氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时它也起到表面钝化和体 内钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。现有技术中，制备氮化硅薄膜一般采用的是 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法，如可以采用德国ROTH&RAU公司的PECVD设备。在 采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中，需要使用一种承载硅片的石墨框。现有的石墨框 呈网状结构，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载条，构成复数个石墨框网格，所述承 载条的宽度一般为6～8mm，并在承载条上安装挂钩，需要镀膜的硅片放在石墨框的网格里， 通过挂钩即可托住硅片。

然而，实际应用发现：在使用过程中，由于没有支撑，石墨框中心的承载条在高温 下容易下沉，使得石墨框中心与边缘形成凹陷，这样边缘的电池片比中心高，特别是离导轨 条侧的边缘在镀膜时容易发红，产生镀膜色差。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种石墨框承载装置，其具有结构稳固、不易变形 的特点，且在PECVD镀膜中不易产生色差。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种石墨框承载装置，包括 石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载条，构成复数个石墨框网格，在位于 石墨框本体中央的横竖交错的承载条中，至少有3条相互垂直的承载条的宽度为12～16mm， 其余承载条的宽度为6～8mm。

上述技术方案中，所述石墨框本体的长度为1691～1760mm；

进一步地，所述石墨框本体的左右两侧各设置有两个对称分布的U型定位孔。

上述技术方案中，所述U型定位孔由长方形和半圆形通孔组成，长方形通孔的长度 为1～70mm，宽度为5～8mm；半圆形通孔的直径为5～8mm，且半圆形通孔的直径与长方形通 孔的宽度相等。

优选地，所述长方形通孔的长度为60mm，宽度为7mm；半圆形通孔的直径为7mm。

优选地，所述石墨框网格为具有倒角的正方形孔。

进一步地，所述正方形孔的宽度为126～126.9mm。

优选地，所述正方形孔的宽度为126.7mm。

优选地，所述石墨框本体的长度为1750mm。

进一步地，所述承载条上设有用于支撑硅片的挂钩。

优选地，所述石墨框本体上分布有6×12个石墨网格。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1．本实用新型对位于石墨框本体中央的横竖交错的承载条进行加宽，所构成的石 墨框网格的桥梁更加稳固，不易变形，使承载条都在同一片面上，在镀膜时不容易产生色 差；

2.本实用新型结构简单，便于制备，适用性强。

附图说明

图1是实施例一中本实用新型的结构示意图。

图2是实施例二中本实用新型的结构示意图。

其中：1、石墨框本体；2、承载条；3、石墨框网格；4、U型定位孔。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一：

参见图1所示，一种石墨框承载装置，包括石墨框本体1，石墨框本体内设有复数条 横竖交错的承载条2，构成复数个石墨框网格3，在位于石墨框本体中央的横竖交错的承载 条中，至少有3条相互垂直的承载条的宽度为15mm，其余承载条的宽度为6mm。

本实施例中，作为优选的，所述石墨框本体的长度为1750mm；

所述石墨框本体的左右两侧各设置有两个对称分布的U型定位孔4。

所述U型定位孔由长方形和半圆形通孔组成，长方形通孔的长度为60mm，宽度为 7mm；半圆形通孔的直径为7mm，且半圆形通孔的直径与长方形通孔的宽度相等。

所述石墨框网格为具有倒角的正方形孔，所述正方形孔的宽度为126.7mm。

所述承载条上还设有用于支撑硅片的挂钩。