[实用新型]一种声学扫描显微镜检测系统分离式器件定位装置有效
| 申请号： | 201521133694.2 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205506764U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 梁媛;蔡良续;卢晓青;杨洋;李鹏;路浩天 | 申请（专利权）人： | 中国航空综合技术研究所 |
| 主分类号： | G01N29/26 | 分类号： | G01N29/26;G01N29/06 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 陈宏林 |
| 地址： | 100028*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 声学 扫描 显微镜 检测 系统 分离 器件 定位 装置 | ||
【权利要求书】：
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