[实用新型]一种多晶硅铸锭炉及应用于多晶硅铸锭炉的支撑装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭技术领域，特别是涉及一种应用于多 晶硅铸锭炉的支撑装置。本实用新型还涉及一种多晶硅铸锭炉。

背景技术

多晶硅铸锭炉用于生产多晶硅锭，通过辐射热量，将置于坩埚内 的块状多晶硅料加热融化，然后通过定向凝固得到铸造多晶硅锭。在 铸锭炉隔热腔内，在顶部和侧部分别设有顶加热器和侧加热器，用以 向硅料辐射热量；在隔热腔内设有导热台，坩埚置于导热台上，在凝 固长晶的过程中，坩埚内硅熔体的热量通过导热台向下传导，从而定 向凝固生长晶体。

在实际生产中，对于各生产厂家。由于铸锭炉内投料重量不同或 炉型的不同，需要相应地调整隔热腔内热场分布，主要的调整措施包 括以下三种：

1、改变侧加热器的高度来优化调整侧加热器与坩埚的相对位置；

2、改变支撑腿的高度来优化调整顶加热器及侧加热器与坩埚的 相对位置，其中支撑腿用于支撑导热台；

3、改变隔热腔底保温板与导热台之间的距离，以优化调整导热 台下方的散热空间。

其中，当侧加热器的安装高度以及支撑腿的高度确定后，侧加热 器、顶加热器与坩埚的相对位置确定，此时通过调整隔热腔底保温板 与导热台之间的距离，来调整导热台下方散热空间，以改善下方散热 场分布，使底部散热场达到适宜的垂直温度分布，以稳定热场，提高 铸锭质量。

现有技术中，调整导热台与底保温板之间的相对位置是采用以下 方法实现：如图1所示，用于支撑导热台的支撑腿穿过隔热腔底保温 板，其上端支撑导热台，在支撑腿穿过底保温板的位置处设置凸台， 由凸台将隔热腔底保温板支撑；当调整隔热腔底保温板与导热台间的 距离时，重新加工支撑腿，改变支撑腿上的凸台位置，将支撑腿重新 更换。因此，现有的方法需要重新加工、更换支撑腿，不仅耗时耗力， 还会增加材料及加工成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多晶硅铸锭炉及应用于多晶硅铸 锭炉的支撑装置，在调整隔热腔底部与导热台的相对位置时，不需要 重新更换支撑腿，操作简单便捷，省时省力且节约成本。

为实现上述目的，本实用新型提供一种应用于多晶硅铸锭炉的支 撑装置，包括：支撑杆和U型调节块；

所述支撑杆支撑于铸锭炉内导热台与炉体底部之间，并穿过位于 所述导热台与炉体底部之间的底保温板，在所述支撑杆上低于所述底 保温板区域设有横向支撑部；

所述U型调节块可放置于所述横向支撑部上，所述支撑杆嵌于所 述U型调节块的凹槽内。

可选地，所述U型调节块端部的形状包括方形、梯形或半圆形。

可选地，所述U型调节块的形状为半圆环形。

可选地，所述U型调节块包括石墨硬毡调节块或陶瓷调节块。

可选地，所述U型调节块的厚度为10-500mm。

可选地，所述横向支撑部为设置于所述支撑杆上的凸台。

可选地，还包括垫于所述凸台上的环形垫片，所述环形垫片的宽 度大于所述凸台的宽度。

可选地，所述横向支撑部为横向穿过所述支撑杆的横杆；

在所述支撑杆上设有横向贯穿的穿孔，所述横杆穿过所述穿孔。

可选地，所述支撑杆为石墨支撑杆。

本实用新型还提供一种多晶硅铸锭炉，包括：置于炉体内的隔热 腔，以及设于所述隔热腔内的导热台；还包括：

支撑于所述导热台与炉体底部之间的支撑装置，所述支撑装置为 以上所述的支撑装置。

由上述内容可知，本实用新型所提供的多晶硅铸锭炉以及应用于 多晶硅铸锭炉的支撑装置，所述支撑装置包括支撑杆和U型调节块； 所述支撑杆支撑于铸锭炉内导热台和炉体底部之间，并穿过炉体内隔 热腔的底保温板，用于支撑导热台。在支撑杆上低于底保温板的区域 设有横向支撑部，U型调节块可放置于横向支撑部上。