[实用新型]一种可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置

权利要求书

1.一种可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置，其特征在于：包括分别与样品光路连接的泵浦激光光源、探测激光光源和探测激光检测装置，所述泵浦激光光源与样品之间依次设有泵浦激光调制装置、泵浦激光耦合装置、光纤和设置在运动机构上的泵浦激光输出装置，所述探测激光光源与样品之间设有探测激光第一聚焦装置；

所述泵浦激光光源，用于输出泵浦激光光束，所述泵浦激光光束经过泵浦激光调制装置调制后，再经过泵浦激光耦合装置耦合进光纤的一端，所述光纤的另一端与泵浦激光输出装置连接；

所述泵浦激光输出装置，用于将光纤传输的泵浦激光光束聚焦到样品表面，并能够在运动机构上沿圆形轨迹运动，所述圆形轨迹的圆心与泵浦激光光束在样品表面的焦点重合；

所述探测激光光源，用于输出探测激光光束，所述探测激光光束经过探测激光第一聚焦装置聚焦在样品表面，且其在样品表面的焦点与所述泵浦激光光束在样品表面的焦点重合；

所述探测激光检测装置，用于收集从样品表面反射的探测激光光束，并对收集的探测激光光束传播特性的变化进行检测。

2.根据权利要求1所述的可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置，其特征在于：还包括设置在运动机构上的泵浦激光吸收装置，所述泵浦激光吸收装置在运动机构的控制下沿圆形轨迹运动，用于吸收从样品表面反射的泵浦激光。

3.根据权利要求1所述的可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置，其特征在于：还包括用于放置样品的样品装夹扫描装置。

4.根据权利要求1所述的可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置，其特征在于：所述泵浦激光光源与泵浦激光调制装置之间设有泵浦激光角度调整装置。

5.根据权利要求1所述的可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置，其特征在于：所述泵浦激光调制装置与泵浦激光耦合装置之间设有泵浦激光分光装置，所述泵浦激光调制装置位于泵浦激光分光装置的入射光路上，所述泵浦激光耦合装置位于泵浦激光分光装置的反射光路上，所述泵浦激光分光装置的透射光路上设有泵浦激光功率探测装置。

6.根据权利要求1所述的可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置，其特征在于：所述探测激光光源与探测激光第一聚焦装置之间依次设有探测激光角度调整装置和探测激光整形处理装置。

7.根据权利要求1所述的可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置，其特征在于：所述探测激光检测装置包括依次设置的探测激光第二聚焦装置、探测激光第二角度调整装置、空间滤波装置、滤光装置和光电探测装置。

8.根据权利要求7所述的可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置，其特征在于：所述探测激光第二角度调整装置与空间滤波装置之间设有探测激光分光装置，所述探测激光第二角度调整装置设置在探测激光分光装置的入射光路上，所述空间滤波装置设置在探测激光分光装置的透射光路上，所述探测激光分光装置的反射光路上设有探测激光功率探测装置。