[实用新型]一种用于多晶硅生产的气路控制装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及多晶硅行业过程控制的生产技术领域，特别是涉 及一种用于多晶硅生产的气路控制装置。

背景技术：

在多晶硅行业控制生产过程中，通过电磁阀控制执行器继而控制 阀体的阀门开闭来控制物料的走向。当接到开指令时，电磁阀线圈得 电，电磁阀阀杆吸合，压缩空气通过电磁阀进入执行器气缸，压缩空 气通过活塞运动带动齿轮进而带动阀体的阀杆转动使阀门打开，同时 活塞又会推动执行器中的弹簧压缩。当接到关指令时，电磁阀线圈失 电，阀门关闭，压缩空气无法进入执行器气缸，造成执行器中的弹簧 力大于执行器中的压缩空气压力，使执行器中的弹簧复位，弹簧复位 时推动执行器中的活塞进而活塞带动齿轮复位，将阀门关闭，同时执 行器中的压缩空气从电磁阀的排气孔中排出。目前单作用气动切断球 阀会导致阀体长时间走酸性物料造成阀座老化变形，造成阀门阻力变 大，无法自动关闭到位；另执行器长时间在现场工作造成弹簧腐蚀， 伸缩力下降，无法驱动阀门自动关闭；

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种用于多晶硅生产的气路控制装 置，解决目前的控制装置在长期腐蚀作用下，阀门无法正常关闭到位， 存在物料内漏的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于多晶硅生产 的气路控制装置，其包括阀体、执行器和电磁阀，所述阀体的阀杆与 所述执行器的输出轴同轴固定连接；所述执行器内密封相对滑动设有 两个活塞，两个所述活塞将所述执行器内腔分为一个执行腔和两个缓 冲腔，两个所述活塞之间的腔体为所述执行腔，所述活塞与对应的所 述执行器端壁之间形成所述缓冲腔，在所述执行腔内转动设有所述输 出轴，所述输出轴与两个所述活塞啮合；在所述执行腔的外壁上设有 执行进气孔，其特征在于，在所述缓冲腔外壁上设有缓冲进气孔；所 述执行进气孔和所述缓冲进气孔分别通过管道与所述电磁阀的两个 出气孔连通；所述电磁阀的进气孔与气源通过管道连通。

进一步，所述电磁阀为二位五通电磁阀。

本实用新型的优点：本实用新型提供的一种用于多晶硅生产的气 路控制装置通过选用二位五通电磁阀控制执行器继而控制阀体的阀 门开闭来控制物料的走向，同时增加一路从电磁阀的第二出气孔到执 行器的缓冲进气孔的第二气源管，使电磁阀在关闭时，电磁阀与第二 出气孔连通，此时压缩空气可以从第二出气孔进入执行器的缓冲进气 孔中，使得在弹簧用力复位的同时，执行器的缓冲进气孔进来的压缩 空气推动两个活塞相对运动，与弹簧一同用力将阀门正常关闭，避免 因执行器长期使用受到腐蚀情况下导致阀门无法正常关闭的问题。

附图说明：

图1为本实用新型提供的一种用于多晶硅生产的气路控制装置 的主视图；

图2为本实用新型提供的一种执行器的俯视图。

附图说明如下：1、阀体；2、执行器；201、执行进气孔；202、 缓冲进气孔；203、弹簧；204、活塞；205、输出轴；3、电磁阀；301、 第一出气孔；302、第二出气孔；303、进气孔；4、第一气源管；5、 第二气源管。

具体实施方式：

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚， 下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。(所述输出轴为花键轴， 在两个所述活塞的相对面上均设有齿条，)

如图1所示，在本实用新型的实施例中，提供了一种用于多晶硅 生产的气路控制装置，其包括阀体1、执行器2和二位五通电磁阀3， 阀体1的阀杆与执行器2的输出轴205同轴固定连接；执行器2内密 封相对滑动设有两个活塞204，两个活塞204将执行器2内腔分为一 个执行腔和两个缓冲腔，两个活塞204之间的腔体为执行腔，活塞 204与对应的执行器2端壁之间形成缓冲腔，在执行腔内转动设有输 出轴205，输出轴205为花键轴，在两个活塞204的相对面上均设有 齿条，输出轴205与两个活塞204啮合；在缓冲腔的外壁上设有执行 进气孔201，在缓冲腔外壁上设有缓冲进气孔202；执行进气孔201 通过第一气源管4与电磁阀3的第一出气孔301连接，缓冲进气孔 202通过第二气源管5与电磁阀3的第二出气孔302连接；电磁阀3 的进气孔303与气源通过管道连通。当电磁阀3通电时，电磁阀3的 进气孔303与第一出气孔301连通，断电时，电磁阀3的进气孔303 与第二出气孔302连通。