[实用新型]摆动台及其传动机构

说明书

技术领域

本实用新型属于摆动台技术领域，具体涉及一种摆动台及其 传动机构。

背景技术

在半导体加工、工件检测、航空航天器件姿态调整、机床分 度等场合中，经常要用到摆动台(尤其是小角度摆动台)。摆动台包 括基底和通过弧形导轨被支撑在基底上的台面，该台面上表面为 用于支撑工件的支撑面，当台面沿弧形导轨滑动时，支撑面则摆 动，从而实现其上工件的摆动。

为给台面提供动力，现有的摆动台传动机构一般是蜗轮蜗杆 形式，即蜗杆连接电机，而蜗轮的下半部有齿并与蜗杆啮合，蜗 轮上半部则直接连接台面，从而当蜗杆转动时带动蜗轮转动，蜗 轮进一步带动台面摆动。

但是，要产生足够的力带动台面，蜗轮必须有较大的尺寸， 这导致其难加工，成本高；同时，涡轮蜗杆间是滑动配合，必然 存在反向间隙，导致其摆动精度低，且蜗轮蜗杆的磨损严重，使 用寿命短。

实用新型内容

本实用新型针对现有摆动台的传动机构难加工、成本高、摆 动精度低、使用寿命短的问题，提供一种成本低、摆动精度高、 使用寿命长的摆动台及其传动机构。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种摆动台传 动机构，其包括：

螺杆，其一端用于与转动输出结构连接；

螺母，其套设于所述螺杆上并与螺杆匹配；

弹片，在所述螺杆的轴向方向上弹片的一端与所述螺母连接， 另一端用于与台面连接，且所述弹片在螺杆的轴向方向上能被压 缩或拉伸。

优选的是，所述弹片的一端与所述螺母的上侧连接，另一端 用于与所述台面的下侧连接。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种摆动台， 其包括：

基底，其包括第一弧形导轨；

台面，其包括与所述第一弧形导轨匹配的第二弧形导轨，并 通过所述第二弧形导轨被支撑在基底上；

转动输出结构，其用于输出转动运动；

螺杆，其一端与所述转动输出结构连接；

螺母，其套设于所述螺杆上并与螺杆匹配；

弹片，在所述螺杆的轴向方向上弹片的一端与所述螺母连接， 另一端与台面连接，且所述弹片在螺杆的轴向方向上能被压缩或 拉伸。

优选的是，所述螺杆和弹片均设于所述台面下方。

进一步优选的是，所述弹片的一端与所述螺母的上侧连接， 另一端与所述台面的下侧连接。

优选的是，所述螺杆和第一弧形导轨在水平方向上的投影相 互平行。

优选的是，所述第一弧形导轨和第二弧形导轨的弧形的凸出 部指向下方。

优选的是，所述基底还包括支撑部，所述螺杆远离转动输出 结构的一端被所述支撑部支撑。

优选的是，所述转动输出结构为电机或手柄。

本实用新型的摆动台通过“螺杆(螺母)+弹片”的方式进行传 动，由此，其至少可达到以下的有益效果：

(a)螺杆与螺母间紧密配合，不存在反向间隙，故摆动精度高；

(b)不需要使用大型蜗轮等，故易于加工，成本低；

(c)不存在滑动，故磨损小，使用寿命长；

(d)螺杆可通过弹片持续施加很大的作用力，使大型摆动台成 为可能。

本实用新型用于摆动台，尤其是小角度摆动台。

附图说明

图1为本实用新型的实施例的一种摆动台的局部透视的俯视 结构示意图；

图2为本实用新型的实施例的一种摆动台的一个剖面结构示 意图；

图3为本实用新型的实施例的一种摆动台的另一个方向的剖 视结构示意图；

其中，附图标记为：1、基底；11、第一弧形导轨；19、支撑 部；2、台面；21、第二弧形导轨；29、支撑面；3、转动输出结 构；4、螺杆；5、螺母；6、弹片；9、滚珠。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下 面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1：

如图1至图3所示，本实施例提供一种摆动台。

该摆动台用于在半导体加工、工件检测、航空航天器件姿态 调整、机床分度等场合中支撑工件，其优选为小角度摆动台。

具体的，以上摆动台包括：