[实用新型]石英管同轴传动卧式清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及石英管清洗装置领域，特别涉及一种石英管同轴传动卧 式清洗机。

背景技术

在半导体硅片生产工艺中，石英管需要定期进行清洗，以保证其洁净度。 目前的清洗方法是将石英管放置在耐酸碱槽中，手动加入清洗化学剂，然后 手动那刷子清洗，最后手拿水枪喷淋清洗。但是这种做法清洗效率低下，也 容易对工作人员的安全和健康造成伤害。

为此，目前有中国专利授权公告号CN201572761U(授权公告日2010.9.8) 公开了一种太阳能电池石英管清洗机，但是该太阳能电池石英管清洗机不能 实现清洗液方便回收，且清洗效果也不完全理想。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种石英 管同轴传动卧式清洗机，以解决上述问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

石英管同轴传动卧式清洗机，其特征在于，包括底架和至少两水平并排 设置在所述底架内的清洗单元，每一清洗单元包括：

清洗槽，所述清洗槽内壁周向设置有若干侧部喷淋管，所述清洗槽的面 向石英管开口的第一端部内壁设置有延伸入石英管内壁的端部喷淋管，所述 清洗槽的底部设置有废液回收孔，该废液回收孔与一废液回收装置连接。

设置在清洗槽底部且沿清洗槽长度方向平行间隔设置的一对转动轴，所 述转动轴沿长度方向间隔设置有若干带动石英管转动的阻尼圈，所述转动轴 的端部设置有第一传动齿轮；

设置在与所述清洗槽的第一端部相对的第二端部外侧的传动机构，所述 传动机构的传动输出端延伸入所述清洗槽内且与所述第一传动齿轮传动连 接。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述传动机构为旋转电机，所述旋 转电机的传动输出端设置有第二传动齿轮，所述第二传动齿轮通过一大齿轮 与所述第一传动齿轮传动啮合，所述大齿轮的外径大于所述第一、第二传动 齿轮。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述若干侧部喷淋管分别设置在所 述清洗槽两侧壁的顶部。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述清洗槽的顶部设置有烘干灯。

由于采用了如上的技术方案，本实用新型通过至少两清洗单元同步进行 清洗，提高清洗效率，除去人工清洗，保证员工的安全，另外，本实用新型 还能将废液回收利用，符合环保要求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将 对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人 员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附 图。

图1是本实用新型一种实施例的俯视图。

图2是图1的左视图。

图3是图1的仰视图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明 白了解，下面进一步阐述本实用新型。

参见图1至图3所示的石英管同轴传动卧式清洗机，包括底架1000和至 少两水平并排设置在底架1000内的清洗单元100，本实施例中的清洗单元100 为两组，当然也可以根据具体使用需要而使用多组清洗单元100水平并排设 置。

每一清洗单元100包括清洗槽110，清洗槽110内壁设置有若干侧部喷淋 管120，为了提高喷淋清洗效果，本实施例中的侧部喷淋管120分别设置在清 洗槽110两侧壁的顶部。清洗槽110的面向石英管1开口的第一端部111内 壁设置有延伸入石英管1内壁的端部喷淋管(图中未示出)，清洗槽110的底 部设置有废液回收孔130，该废液回收孔130与一废液回收装置131连接，对 废液进行回收，方便废液循环使用，符合环保要求。

在清洗槽110底部设置有一对转动轴140，一对转动轴140沿清洗槽110 长度方向平行间隔，转动轴140沿长度方向间隔设置有若干带动石英管1转 动的阻尼圈141，转动轴140的端部设置有第一传动齿轮142。