[实用新型]一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装

权利要求书

1.一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装，包括端面圆板(1)、连接柱(6)和转轴(2)，其特征在于，所述的端面圆板(1)呈两块并排同轴布置，两块端面圆板(1)之间通过靠近边缘处的若干根连接柱(6)相连，所述的连接柱(6)上连接有靠近两块端面圆板(1)布置的支撑圆板(5)，所述的支撑圆板(5)之间绕着圆周边缘位置穿接有若干根夹持转轴(9)，所述的夹持转轴(9)的两端穿过支撑圆板(5)并均安装有小齿轮(10)，所述的端面圆板(1)的中间穿有转轴(2)，该转轴(2)的一端穿过端面圆板(1)后与主动齿轮(3)相连，另一端穿过端面圆板(1)和支撑圆板(5)之间的大齿轮(11)与支撑圆板(5)相连，所述的主动齿轮(3)与周围的小齿轮(10)均相啮合；

所述的大齿轮(11)与支撑圆板(5)之间布置有一端与转轴(2)相连的活动块(4)，两块活动块(4)之间穿有一根夹持转轴(9)，该夹持转轴(9)的两端均安装有与大齿轮(11)相啮合的小齿轮(10)，所述的夹持转轴(9)的中部均套接有外表均布有环形槽的硅片定位夹套(7)。

2.根据权利要求1所述的硅片酸腐蚀用夹持转动工装，其特征在于：两根活动块(4)之间还连接有两根连接杆(8)，该连接杆(8)相对于夹持转轴(9)对称布置。

3.根据权利要求2所述的硅片酸腐蚀用夹持转动工装，其特征在于：所述的支撑圆板(5)上没有安装夹持转轴(9)；连接柱(6)的部分边缘处开有弧形缺口(15)，所述的活动块(4)之间的夹持转轴(9)和连接杆(8)随着活动块(4)的转动在弧形缺口(15)中移动。

4.根据权利要求3所述的硅片酸腐蚀用夹持转动工装，其特征在于：所述的活动块(4)包括扇形转动块(12)和勾板(14)，所述的勾板(14)通过向外伸出的V形连接板(13)与扇形转动块(12)的外边缘一侧相连，所述的勾板(14)与支撑圆板(5)上突出的定位柱(16)相连。

5.根据权利要求1所述的硅片酸腐蚀用夹持转动工装，其特征在于：所述的支撑圆板(5)之间的夹持转轴(9)的数量至少为4根。