[实用新型]底片检查机缺陷识别能力测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及底片检查机领域，特别涉及一种底片检查机缺陷识别能力 测试装置。

背景技术

底片检查机是一种将底片扫描成的电子图像与底片的原始电子资料进行对 比查错的检测设备。在线路板生产过程中，越来越多的制造商在进行底片检查 时，使用底片检查机检查来代替放大镜人工检查，以降低漏检导致的后工序报 废。所以底片检查机对缺陷识别的能力对后期品质影响重大。

目前行业通用的测试方法就是在如图1所示的正常底片12上随机添加不同 类型、不同等级缺陷图案11，用底片检查机检查并标记后与工程资料逐个缺陷 点对比，以能正确检出缺陷的大小/长度作为检查机能力。但是，这种方式需 要花费较长的测试时间。

实用新型内容

本实用新型提供了一种结构简单、成本低、测试效率高的底片检查机缺陷 识别能力测试装置。

为解决上述问题，作为本实用新型的一个方面，提供了一种底片检查机缺 陷识别能力测试装置，包括：缺陷底片，缺陷底片上形成有至少一种缺陷图案， 缺陷图案包括多个不同等级的缺陷子图案；与缺陷底片重叠起来配合使用的标 识底片，标识底片上形成有与每个缺陷子图案一一对应的标识字符。

优选地，缺陷图案包括短路图案、和/或开路图案、和/或突起图案。

优选地，缺陷底片上还形成有第一对齐方向孔，标识底片上还形成有与第 一对齐方向孔配合使用的第二对齐方向孔。

优选地，第一对齐方向孔和第二对齐方向孔的个数均为两个。

优选地，缺陷图案通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在缺陷底片的表面 上。

优选地，标识字符通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在标识底片的表面 上。

本实用新型可以方便而快速地得到底片检查机的缺陷识别能力，具有结构 简单、成本低、测试效率高的特点。

附图说明

图1示意性地示出了现有技术中的正常底片的结构示意图；

图2示意性地示出了本实用新型中的缺陷底片的结构示意图；

图3示意性地示出了贴上了标签纸后的缺陷底片的结构示意图；

图4示意性地示出了标识底片的结构示意图；

图5示意性地示出了缺陷底片和标识底片重叠后的示意图。

图中附图标记：1、缺陷底片；2、缺陷子图案；3、标识底片；4、标识字 符；5、短路图案；6、开路图案；7、突起图案；8、第一对齐方向孔；9、第二 对齐方向孔；10、标签纸；11、缺陷图案；12、正常底片。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以 由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

请参考图2至图5，本实用新型提供了一种底片检查机缺陷识别能力测试装 置，包括：缺陷底片1，缺陷底片1上形成有至少一种缺陷图案，缺陷图案包括 多个不同等级的缺陷子图案2；与缺陷底片1重叠起来配合使用的标识底片3， 标识底片3上形成有与每个缺陷子图案2一一对应的标识字符4。本专利中的缺 陷底片1和标识底片3为透明的。

使用时，将预先形成有一种或多种缺陷图案的缺陷底片1(如图2)，然后， 利用底片检查机对缺陷底片1上的各种缺陷图案进行检查，并根据检查结果利 用底片检查机的定位功能通过人工的方式标记出检查结果中对应的缺陷图案。 例如，可通过人工的方式将检查结果中检查到的缺陷用图3所示的标签纸10贴 在缺陷底片1上来表示。然后，把贴好标签纸的图3所示的缺陷底片1与图4 中的标识底片重叠在一起，从而形成如图5所示的状态。因此，在图5中可以 很容易地找到未被底片检查机检查出的缺陷。例如，在图5中，底片检查机仅 检查出了10um等级的开路缺陷，因此，该底片检查机对开路缺陷的识别能力为 10um等级。在图5中，该底片检查机未能检查出5um等级的短路、10um等级的 突起缺陷。

可见，由于采用了上述技术方案，本实用新型可以方便而快速地得到底片 检查机的缺陷识别能力，具有结构简单、成本低、测试效率高的特点。

优选地，如图2，缺陷图案包括短路图案5、和/或开路图案6、和/或突起 图案7。优选地，缺陷图案通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在缺陷底片1的 表面上。优选地，标识字符4通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在标识底片3 的表面上。这样，缺陷图案和标识字符4可以是印刷层、刻蚀层或金属层等。