[实用新型]垂直法单晶生长用坩锅有效
| 申请号: | 201521067866.0 | 申请日: | 2015-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN205275773U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
| 发明(设计)人: | 郑安生;于洪国;刘春雷;马英俊;林泉;刘晓慧 | 申请(专利权)人: | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B13/14 |
| 代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址: | 065001 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 垂直 法单晶 生长 用坩锅 | ||
1.一种垂直法单晶生长用坩锅,其特征在于,该坩锅自上向下依次为等径部 分、放肩部分和籽晶腔部分,籽晶腔部分的下端封闭;等径部分和籽晶腔部分为圆 柱形,放肩部分为锥形。
2.根据权利要求1所述的垂直法单晶生长用坩锅,其特征在于,所述籽晶腔 部分长度为60±2mm,内径为16+0.1mm,壁厚为3±0.2mm;放肩部分长度为50 ±2mm,壁厚为3±0.2mm;等径部分长度为200±2mm,内径为106±2mm,壁厚 为3±0.2mm。
3.根据权利要求1或2所述的垂直法单晶生长用坩锅,其特征在于,所述籽晶 腔部分的下部设置支撑托,该支撑托的上部与放肩部分的外部相配合。
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