[实用新型]一种靶材原料烧结用的烧结机

说明书

技术领域

本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材原料烧结用的烧结 机。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当 工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、 煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后进 行溅射镀膜，目前所采用的烧结工艺中用到的烧结机需要将氢氧化铌沉淀 做成方砖，然后烧结、干燥，提前制作方砖的工序复杂，费事费力，并且 由于氢氧化铌导热性差，方砖结构中心不易干透，容易造成开裂、干湿不 均匀，影响下一步工序质量。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了 一种靶材原料烧结用的烧结机，能够方便物料装填，提高生产效率及生产 质量。

本实用新型采用的具体技术方案是：

一种靶材原料烧结用的烧结机，包括烧结炉，烧结炉为箱体结构，烧 结炉还设置有密封门，密封门与烧结炉侧壁铰接形成转动配合，所述的烧 结炉为多层结构，其由内向外依次为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧 结炉还设置有铂铑测温计，所述的烧结炉内还设置有物料托盘，所述的物 料托盘内设置有一组多个的辅热桩，辅热桩在物料托盘内侧的底面呈矩阵 排布。

所述的辅热桩为圆柱结构，辅热桩中心设置有贯通孔，贯通孔与物料 托盘下端面连通。

还设置有固定滑轨，固定滑轨分别设置在烧结炉内相对的左、右侧面 上，固定滑轨呈C型槽体结构，固定滑轨与物料托盘形成滑动配合。

所述的物料托盘设置有多个，多个物料托盘在烧结炉内竖向排列。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型，采用辅热桩将物料托盘内的物料贯穿，当加热时，借助 于辅热桩能够使得物料受热更加均匀，增加受热面积，设置的固定滑轨能 够方便物料托盘的取用，便于物料装填及取出。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

附图中，1、烧结炉，2、密封门，3、铂铑测温计，4、物料托盘，5、 辅热桩，6、贯通孔，7、固定滑轨。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明：

具体实施例如图1所示，本实用新型为一种靶材原料烧结用的烧结机， 包括烧结炉1，烧结炉1为箱体结构，烧结炉1还设置有密封门2，密封门 2与烧结炉1侧壁铰接形成转动配合，所述的烧结炉1为多层结构，其由内 向外依次为耐火砖层、保温层及外壳，所述的烧结炉1还设置有铂铑测温 计3，所述的烧结炉1内还设置有物料托盘4，所述的物料托盘4内设置有 一组多个的辅热桩5，辅热桩5在物料托盘4内侧的底面呈矩阵排布。

所述的辅热桩5为圆柱结构，辅热桩5中心设置有贯通孔6，贯通孔6 与物料托盘4下端面连通。

还设置有固定滑轨7，固定滑轨7分别设置在烧结炉1内相对的左、右 侧面上，固定滑轨7呈C型槽体结构，固定滑轨7与物料托盘4形成滑动 配合。

作为本实用新型的进一步改进，所述的物料托盘4设置有多个，多个 物料托盘4在烧结炉1内竖向排列，设置在物料托盘4上的辅热桩5在物 料托盘4安装到位后，辅热桩5相互贯通，即使物料托盘4密集摆放，也 能保证物料中心受热均匀。

本实用新型，采用辅热桩将物料托盘内的物料贯穿，当加热时，借助 于辅热桩能够使得物料受热更加均匀，增加受热面积，设置的固定滑轨能 够方便物料托盘的取用，便于物料装填及取出。