[实用新型]一种真空罐体稳压装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空罐体稳压装置。

背景技术

在真空喷涂旋转靶材过程中，真空喷涂罐体要求压力在负压以下，并且由于真空 喷涂时间较长，要求真空罐体内压力长时间保持在某一个值，喷枪在喷涂过程中，大量氮气 和粉末通过喷枪进入真空罐体内，粉末通过反应附着在靶材上，而剩余的氮气则残留在真 空，影响真空罐体的真空度，所以要求氮气要定期排出，保证真空罐体内的真空度。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种真空罐体稳压装置，能够解决现有技术 的不足。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下：一种真空罐体稳压装 置，包括真空罐体、控制装置、水环泵和压力检测装置，所述真空罐体通过管道与水环泵相 连，所述真空罐体上设置有压力检测装置，所述压力检测装置包括压力传感器和压力表，所 述压力传感器设置在真空罐体内部，所述压力表设置在真空罐体顶部，所述控制装置包括 变频器和控制器，所述水环泵、压力传感器通过闭合回路分别与控制器相连，所述变频器通 过导线与水环泵相连。

作为优选，所述控制装置上设置有显示屏、报警器和控制按钮。

作为优选，所述管道上设置有控制阀。

本实用新型结构简单，操作方便，以水环泵为抽真空设备，在罐体上设置压力传感 器器，设定罐体内压力为负0.02MPa，当设备工作时变频器启动，带动水环泵工作，变频器通 过压力变送器形成闭环回路，通过压力变送器传送给变频器的信号实现PID控制，从而达到 罐体稳压的目的。

本实用新型的有益效果如下：

1.喷枪虽然不断有氮气进入真空罐体，真空罐体扔可以保持动态平衡，使压力保 持一定。2.以设定任意压力值,通关传感器和水环泵都可以实现真空罐体的稳压。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图；

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点 和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确 的界定。

参照图1，本实用新型的包括真空罐体2、控制装置3、水环泵4和压力检测装置5,所 述真空罐体2通过管道与水环泵4相连，所述真空罐体2上设置有压力检测装置5，所述压力 检测装置5包括压力传感器和压力表，所述压力传感器设置在真空罐体2内部，所述压力表 设置在真空罐体2顶部，所述控制装置3包括变频器和控制器，所述水环泵4、压力传感器通 过闭合回路分别与控制器相连，所述变频器通过导线与水环泵4相连，所述真空罐体2上设 置有观察窗，所述控制装置3上设置有照明灯。

值得注意的是，所述控制装置3上设置有显示屏、报警器和控制按钮。

值得注意的是，所述管道上设置有控制阀。

本实用新型工作时，水环泵先抽真空将罐体内压力抽至负0.02MPa以下，而后水环 泵停止工作，保压。真空罐体内喷枪开始工作，罐体内压力逐渐上升，压力传感器检测到压 力高于-0.02MPa，变频器带动水环泵工作，将罐体内压力抽至负0.02MPa。从而实现了真空 罐体内压力的动态平衡，使压力始终保持在负0.02MPa。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术 人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进 和润饰也应视为本实用新型的保护范围。