[实用新型]一种蒸镀工艺用掩膜版有效
| 申请号： | 201521047084.0 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN206015072U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘海;王忠春;孙田雨;吴健 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201201 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 用掩膜版 | ||
【说明书】：
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