[实用新型]一种组合式探针检测头

说明书

技术领域

本实用新型涉及自动化检测技术领域，尤其涉及一种组合式探针检测 头。

背景技术

探针是电测试的接触媒介，探针通常包括探针壳、探针头，探针头与 探针壳之间弹性连接，探针头可在探针套内伸缩。探针通常用来测试一些 微型电子元器件的参数，例如测量电子元器件上两个焊点之间的电阻、电 流、电压等。晶元是生产集成电路所用的载体，通常通过探针对进行检测， 由于一个晶元片上存在上百个晶元，单个探针检测效率低，无法满足生产 检测需求，需要多组探针同时检测，然而目前没有专门用于多组探针固定 的夹具。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中的多组探针难以同时安装定位的问 题，提供了一种结构简单、紧凑，制造成本低，能用于多组探针同时安装 定位、提高探针检测效率的组合式探针检测头，尤其适用于晶元芯片检测。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种组合式探针检测头，包括探针座，所述的探针座呈回字形结构， 所述探针座的四个内壁分别向内延伸形成支撑块，探针座内部未被支撑块 遮挡的空间形成卍字形通槽，所述支撑块的底面与探针座的底端平齐，支 撑块的顶面为斜面，支撑块的外端厚度大于内端厚度，所述探针座的顶面 上与支撑块的连接处设有凹槽，所述凹槽的底面由支撑块上的斜面延伸形 成，每个凹槽内设有一组探针，所述的探针通过绝缘胶与探针座连接，探 针的头部位于卍字形通槽内，所述探针的头部高出探针座顶面。该种组合 式探针检测头直接安装到自动化监测设备上，能快速对呈阵列分布的电子 元器件进行检测，尤其适合晶元片上的晶元检测，四个支撑块的分布非常 紧凑，从而可以很大程度的缩减探针座的尺寸，更有利于测量排列紧密的 晶元，而且从底部的卍字形通槽中还能直观的看到探针与待检测物品的接 触状态。

作为优选，所述的探针包括探针套、探针头，探针头可在探针套内弹 性伸缩，探针头的外端弯曲形成检测端子，所述的检测端子的轴线与探针 座的端面垂直。检测时，检测端子保持与晶元片垂直，使得探针受力稳定， 提高探针使用寿命。

作为优选，所述检测端子的端面为球面。球面能防止检测端子移动时 在晶元表面产生刮痕。

作为优选，所述的探针座的四个角上分别设有连接孔。

因此，本实用新型具有结构简单、紧凑，制造成本低，能用于多组探 针同时安装定位、提高探针检测效率的有益效果。

附图说明

图1为本实用新型的正面结构示意图。

图2为本实用新型的底面结构示意图。

图3为图1中A-A处截面图。

图4为探针的结构示意图。

图中：探针座1、支撑块2、卍字形通槽3、凹槽4、探针5、绝缘胶 6、连接孔7、探针套50、探针头51、检测端子52。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

如图1和图2所示的一种组合式探针检测头，包括探针座1，探针 座1呈回字形结构，探针座的底面与顶面平行，探针座1的四个内壁分别 向内延伸形成支撑块2，探针座1内部未被支撑块遮挡的空间形成卍字形 通槽3，支撑块2的底面与探针座1的底端平齐，如图3所示，支撑块2 的顶面为斜面，支撑块的外端厚度大于内端厚度，探针座1的顶面上与支 撑块的连接处设有凹槽4，凹槽4的底面由支撑块上的斜面延伸形成，每 个凹槽4内设有一组探针5，探针靠在支撑块的斜面上，探针5通过绝缘 胶6与探针座1连接，探针5的头部位于卍字形通槽3内，探针的头部高 出探针座顶面；探针座1的四个角上分别设有连接孔7。

如图4所示，探针5包括探针套50、探针头51，探针头可在探针套 内弹性伸缩，探针头51的外端弯曲形成检测端子52，检测端子52的轴 线与探针座1的端面垂直，检测端子52的端面为球面。

该种组合式探针检测头直接安装到自动化监测设备上，能快速对呈阵 列分布的电子元器件进行检测，尤其适合晶元片上的晶元检测，四个支撑 块的分布非常紧凑，从而可以很大程度的缩减探针座的尺寸，更有利于测 量排列紧密的晶元，而且从底部的卍字形通槽中还能直观的看到探针与待 检测物品的接触状态。本实用新型结构简单、紧凑，制造成本低，能用于 多组探针同时安装定位、提高探针检测效率的有益效果。