[实用新型]切片机的导线轮装置

说明书

技术领域

本实用新型属于多晶硅片加工设备结构设计技术领域，具体涉及一种切片机 的导线轮装置。

背景技术

晶棒切片时需要先将晶棒粘接在粘棒工装上，然后通过上料装置将粘棒工装 安装于切片机的切割室内，通过高速移动的金刚丝进行切割。通常为了保证切片 的效果一般会在粘棒工装的左右两端粘接限位片，在切片前往往要对金刚丝的横 向布线尺寸进行调整，以防止金刚丝布线过多而将粘棒工装两端的限位片切割， 并且金刚丝的两端要通过导线轮进行牵引，在切割时需保证各导向轮处于与相应 限位片正对的位置。现有技术中，导线轮的位置移动大都是通过手动调节，调节 时，先松开固定螺栓，将各导向轮移动到与相应限位片正对的位置后再拧紧固定 螺栓进行固定，需要反复微调才能最终确定导向轮位置，操作较为繁琐，导致工 作效率难以提高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种 能够自动调节导线轮位置并且位置精度相对较高的导线轮装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案是：

一种切片机的导线轮装置，包括在切割室同一侧设置的两个导线轮组件，各 导线轮组件包括安装支架和安装在安装支架上的导线轮，各导线轮组件分别通过 一横向位移机构可横向移动设置在所述机体上，所述各横向位移机构包括横向设 置的丝杆、与所述丝杆配合的活动块和用于驱动所述丝杆转动的驱动电机，所述 安装支架与所述活动块固定连接，所述活动块上设有在其横向移动时提供导向的 导向凸台，所述机体上设有沿横向设置的适于与所述导向凸台相配合的导向槽， 所述机体的切割室内侧壁上与各限位片相对应的位置设有第一距离传感器，所述 机体与各导线轮相对应的位置设有第二距离传感器，所述第一距离传感器、第二 距离传感器及驱动电机与所述机体上的主控系统电连接。

上述技术方案中，所述导向凸台上装有与所述导向槽配合的导向轮。

采用上述结构后，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型中，所述机体的切割室内侧壁上与各限位片相对应的位置设 有第一距离传感器，所述机体与各导线轮相对应的位置设有第二距离传感器，通 过第一距离传感器测得切割室内壁与粘棒工装上相应限位片之间的横向距离 L1，并将数据信号传输至主控系统，同时第二距离传感器测得到导线轮之间的距 离L2，并将数据信号传输至主控系统，然后由主控系统判断并控制驱动电机工 作以使丝杆转动，进而带动导线轮移动至与相应限位片正对的位置后驱动电机停 止运转，实现导线轮位置的自动调节，并且精度相对较高。

2、进一步，为了减少导向槽与导向凸台在移动时的摩擦，在导向凸台上设 置导向轮，可减小摩擦，使滑动更加顺畅。

附图说明

图1为本实用新型的导线轮装置的结构示意图。

图2为本实用新型的导线轮装置的局部放大视图。

图中所示附图标记为：1、机体，2、安装支架，3、导线轮，4、丝杆，5、 活动块，6、驱动电机，7、导向凸台，8、导向槽，9、第一距离传感器，10、第 二距离传感器，11、主控系统，12、导向轮，13、限位片。

具体实施方式

下面对本实用新型中的导线轮装置的具体结构作详细的说明：