[实用新型]法兰冷却水循环改造结构

说明书

技术领域

本实用新型属于PECVD冷却水循环系统技术领域，具体涉及一种法兰冷却水循环改造结构。

背景技术

如图1所示，捷佳伟创管式PECVD冷却水循环系统用于设备前、后法兰的降温作用，其采用串联水路是将冷却水经过后法兰循环后进入前法兰循环排出，当冷却水进入前法兰时水温已经升高，对前法兰没有良好的冷却效果，易造成需经常开关的炉门密封圈使用寿命降低，影响炉管密封性。

且，捷佳伟创管式PECVD前法兰经常发生漏气，特别是在设备停机后复机时发生前法兰漏气，导致前法兰密封圈使用寿命变短，根据现冷却水路可分析出，前法兰的冷却水进水端是串联到后法兰的出水端，后法兰的出水端温度已达40℃以上，这样前法兰的冷却效果大打折扣，导致炉口的密封圈容易烧坏。

故，需要一种新的技术方案以解决上述问题。

实用新型内容

实用新型目的：针对上述现有技术存在的问题和不足，本实用新型的目的是提供一种法兰冷却水循环改造结构。

技术方案：本实用新型公开了一种法兰冷却水循环改造结构，包括前炉门法兰、后炉门法兰、包覆在后炉门法兰周围的水管和包覆在前炉门法兰周围的水管，所述包覆在后炉门法兰周围的水管的进水端与冷却水进水管连通，所述包覆在前炉门法兰周围的水管的出水端与冷却水出水管连通，包覆在前炉门法兰周围的水管与所述包覆在后炉门法兰周围的水管并联与冷却水进水管、冷却水出水管连通，将冷却水分为两路，一路直接流向包覆在后炉门法兰周围的水管的进水端，经后炉门法兰循环后排出，另一路进入前炉门法兰循环排出，采用并联水路的方法，有效解决了现有技术中的弊端，提高了冷却水的使用效果。

作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的冷却水进水管管口处设有冷却水流量计。

作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的包覆在前炉门法兰周围的水管的进水端与所述包覆在后炉门法兰周围的水管的出水端连通，提高冷却水的利用率。

作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的包覆在前炉门法兰周围的水管与所述包覆在后炉门法兰周围的水管均与冷却水流量计相连。

作为本实用新型的进一步优化，本实用新型所述的冷却水流量计的输出端设有卡套式三通接头，所述三通接头分别与冷却水流量计、包覆在前炉门法兰周围的水管的进水端和包覆在后炉门法兰周围的水管的进水端相连。

有益效果：本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：本实用新型通过采用并联前后炉门法兰的进出水方式，使得前后炉门法兰的进水温度达到要求，同时不影响后炉门法兰的冷却效果，这样可有效冷却前后炉门法兰密封圈，使得密封圈的使用寿命可延长5个月以上，同时本实用新型降低易损件更换成本和人工成本，降低更换密封圈的风险，具有良好的经济效益。

附图说明

图1为现有技术的结构示意图；

图2为本实用新型的结构示意图；

1--包覆在后炉门法兰周围的水管、2--包覆在前炉门法兰周围的水管、3--冷却水进水管、4--冷却水出水管、5--冷却水流量计、6--三通接头。

具体实施方式

以下结合具体的实施例对本实用新型进行详细说明，但同时说明本实用新型的保护范围并不局限于本实施例的具体范围，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。