[实用新型]一种用于夹持石英腔体的安装装置

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体材料生长设备安装领域，具体是指一种用于夹持石英腔体 的安装安置。

背景技术

在半导体材料生长设备中，尤其是氮化镓材料生长的HVPE设备中，需要使用各种 不同规格尺寸的石英腔体。其石英腔体通常规格为直径小于200毫米，重量小于25千克，高 度或长度小于1.2米。进行保养维护时，安装整个石英腔体，只需要两人协同搬运安装，即可 保证安装精度和准确度，安装过程简单方便。随着半导体行业的发展，氮化镓材料生长的 HVPE设备中，使用的石英腔体的尺寸也相应的增大，其石英腔体的直径突破200毫米以上， 重量超过25千克，高度或长度大于1.2米，安装时，仅靠少量的安装人员显然不够，需要多人 协同安装，可控性很差，安装精度不易保证，安装效率低；且石英材质易碎、表面光滑，存在 一定的安全隐患。显然，小型半导体材料生长设备石英腔体的安装方法，已经难于满足现行 半导体生长设备中石英腔体的日常安装维护保养的需要。如何能保证这种大型半导体材料 生长设备安装维护保养精度，提高效率，确保安全，降低风险，是亟待解决的安装问题。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种结构简单，拆装方便，成本低的安装装置。

为此，本实用新型一种用于夹持石英腔体的安装装置，所采用的技术方案是：所述 安装装置由一对夹持装置和紧固装置组成；所述夹持装置，包含半环柱弧面形夹持支架、紧 贴在其内面的半环柱弧面形缓冲垫、位于夹持支架左右两端的紧固用侧面板、位于各夹持 支架中段上部的抓手；所述紧固装置，其数量依据需要可以是2-6组，其每组包含一个螺栓、 一个螺母和一条弹簧，螺栓可以穿过相对应的两个侧面板上的通孔：适当调控各紧固装置 上的螺栓螺母，通过改变两个相对应的一对侧面板间的间距，可使夹持支架夹紧或放松被 夹的石英腔体；所述半环形抓手其形状及数量以据实际需要而定，如其形状可以是半圆环 形、方截面半环形、或其他界面半环形，各夹持支架中段上部的抓手的数量可以是1个～4 个；所述半环柱弧面形夹持支架、紧固用侧面板、半环形抓手，其材料采用刚性材料，可用不 锈钢、铝合金。

本实用新型装置，其夹持支架、紧固装置均由彼此相对应的两部分组成。

在所述两个半环柱弧面形夹持支架内面上，紧贴着半环柱弧面形缓冲垫，其材料 为防滑弹性材料，如橡胶、硅胶，其表面为非光滑糙面，在夹持时可增加其表面与石英腔体 外壁间的摩擦力，以稳固夹持并避免石英腔体滑落，且缓冲垫的弹性缓冲性能，可以防止石 英腔体在被夹持时碎裂。

夹持操作步骤：(1)松开各组紧固装置的螺栓螺母，适当拉开两个夹持支架间距， 使其口径略大于被夹石英腔体外径；(2)操控四个半环形抓手，将两个半环柱弧面形夹持支 架套在石英腔体外并选择合适位置；(3)调节各组紧固装置的螺栓、螺母、弹簧，逐步缩小两 个夹持支架两侧的相对应两个侧面板间距，使半环柱弧面形缓冲垫贴近并紧紧夹持石英腔 体外表面；(4)操控抓手，移动本实用新型夹持装置及其被夹持的石英腔体；(5)旋转松开螺 栓螺母，使半环柱弧面形缓冲垫与石英腔体表面分离后，操控抓手，移去夹持装置。完成操 作。本安装装置，具有结构简单，拆装方便，成本低，较实用等特点。

附图说明

附图1为本实用新型一种用于夹持石英腔体的安装安置的结构示意图。其中，

1：夹持装置：11：夹持支架12：侧面板13：抓手14：缓冲垫；

2：紧固装置：21：螺栓22：螺母23；弹簧。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1.如图1所示，一种用于夹持石英腔体的安装装置，其整体左右对称，由左 右对称布置两个半环柱弧面形夹持支架11，在其中段上部各有2个半环形抓手13，在两个夹 持支架11的内面紧贴着半环柱弧面形缓冲垫14，紧固用的四个螺栓21，四条弹簧23，四个螺 母22等组成。两个半环柱弧面形夹持支架11左右两侧分别设置2个紧固用侧面板12，两个半 环柱弧面形夹持支架内面分别设置半环柱弧面形缓冲垫14，在一对相对应的侧面板12之间 分别设置2组紧固装置，每组紧固装置包含一条弹簧23、1个螺栓21、一个螺母，各组紧固装 置为平行排布；调控紧固装置2上的螺栓螺母，通过改变两个相对应的一对侧面板12间的间 距，可使夹持支架夹紧或放松被夹的石英腔体。