[实用新型]带有新型坩埚盖板的多晶铸锭炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种带有新型坩埚盖板的多晶铸锭炉。

背景技术

多晶铸锭炉是多晶硅制造最为重要的设备之一。它主要是利用定向凝固技术，在铸锭炉内的热交换台上放置一个装好多晶硅原料的坩埚，坩埚四周有石墨侧板保护，坩埚顶部装有碳碳复合材料（CFC）盖板，硅料在坩埚内经过熔化、长晶、退火、冷却等步骤制成多晶硅锭。坩埚四周的侧板主要起到支撑作用，防止坩埚在高温下过度形变破裂，而顶部盖板一方面是为了防止上部的石墨加热器以及碳纤维保温毡内的碳杂质掉入坩埚内，造成硅锭中碳杂质含量偏高；一方面也可以防止从熔融硅料中挥发的杂质对石墨加热器以及保温毡产生侵蚀，加速其老化，影响使用寿命。而一般盖板是一种正方形结构，其长时间使用后会发生一定变形，尤其四角附近位置会翘起，翘起后极易与固定顶部加热器的螺母螺栓发生接触造成打火，影响盖板以及加热器的使用寿命，打火严重时炉内温度无法控制，进而无法继续铸锭，给生产造成损失。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种可以有效避免盖板长时间使用后变形翘起与加热器螺母螺栓接触打火，使得盖板本身以及加热器的使用寿命均得以增长，减少因打火造成的产品不良以及经济损失的带有新型坩埚盖板的多晶铸锭炉。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种带有新型坩埚盖板的多晶铸锭炉，它包括多晶铸锭炉炉体，多晶铸锭炉炉体内设置有的热交换台，热交换台上放置一个坩埚，坩埚四周设置有石墨侧板，坩埚顶部设置有坩埚盖板，坩埚盖板的上方设置有顶部加热器，坩埚盖板包括盖板本体，所述盖板本体整体为矩形板结构，所述盖板本体的中心设置有进气孔，所述盖板本体的四角分别设置有一个三角形缺口，每个三角形缺口处相对应的盖板本体的边缘设置有两个盖板限位孔，四个三角形缺口避开顶部加热器的四个角部电极处的螺母螺栓。

三角形缺口的两个直角边长为150~300mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型可以有效避免盖板长时间使用后变形翘起与加热器螺母螺栓接触打火，使得盖板本身以及加热器的使用寿命均得以增长，减少因打火造成的产品不良以及经济损失。

附图说明

图1为坩埚盖板的结构示意图。

图2为坩埚盖板与顶部加热器的位置关系图。

其中：

盖板本体1

进气孔2

三角形缺口3

盖板限位孔4

顶部加热器5

角部电极6。

具体实施方式

参见图1和图2，本实用新型涉及的一种带有新型坩埚盖板的多晶铸锭炉，它包括多晶铸锭炉炉体，多晶铸锭炉炉体内设置有的热交换台，热交换台上放置一个装好多晶硅原料的坩埚，坩埚四周设置有石墨侧板，坩埚顶部设置有坩埚盖板，坩埚盖板包括盖板本体1，所述盖板本体1整体为矩形板结构，所述盖板本体1的中心设置有进气孔2，所述盖板本体1的四角分别设置有一个三角形缺口3，每个三角形缺口3处相对应的盖板本体1的边缘设置有两个盖板限位孔4。三角形缺口3的两个直角边长为150~300mm。坩埚盖板的上方设置有顶部加热器5，四个三角形缺口避开顶部加热器5的四个角部电极6处的螺母螺栓。