[实用新型]一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟

权利要求书

1.一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟，其特征在于：所述蒸发舟由外 蒸发盘(1)和内蒸发盘(2)组成，所述外蒸发盘(1)的圆周边上设置有12 张蒸发片(3)，且每张蒸发片(3)呈径向布置，所述蒸发片(3)与蒸发片(3) 之间呈30°分隔布置，所述外蒸发盘(1)的中心处开设有一圆孔，圆孔内设 置有内蒸发盘(2)，所述蒸发片(3)的一端固设在外蒸发盘(1)上，另一端 固设在内蒸发盘(2)上，通过蒸发片(3)，使外蒸发盘(1)与内蒸发盘(2) 同步转动布置，在所述外蒸发盘(1)的底端上固设有12根外电极(4)，每根 外电极(4)与每张蒸发片(3)一一相对应设置，每根所述外电极(4)的一端 与对应的蒸发片(3)的一端相连布置，沿所述内蒸发盘(2)底端的圆周边上 设置有4根内电极(5)，所述内电极(5)与内电极(5)之间呈90°分隔布置， 每根所述内电极(5)的一端与蒸发片(3)的另一端相连。

2.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟，其特征在于： 所述蒸发片(3)呈长条形，其中间的宽度大于其两端的宽度布置。

3.根据权利要求1或2所述的用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟，其特征 在于：所述蒸发片(3)通过压板(6)与外电极(4)相固定。

4.根据权利要求1或2所述的用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟，其特征 在于：所述蒸发片(3)通过压环(7)与内电极(5)相固定。

5.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟，其特征在于： 所述外电极(4)与内电极(5)之间还设置有隔板。

6.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟，其特征在于： 所述内蒸发盘(2)与外蒸发盘(1)之间设有间隙。

7.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟，其特征在于： 所述外蒸发盘(1)上设置有连接片，蒸发片(3)固设在连接片上。

8.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发舟，其特征在于： 4根所述内电极(5)之间通过圆环相连。