[实用新型]一种基板表面清洁装置有效
| 申请号： | 201520981522.4 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN205289123U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 郭良奎;孔杰 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 杨虹 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 清洁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板表面清洁装置，包括光电传感器、光电传感器放大器、电磁阀、喷气装置、传输滚轮和传输轨道，所述喷气装置，包括气管、喷气口和压缩干燥空气产生装置，所述传输轨道上安装有光电传感器、传动滚轮和喷气口，所述光电传感器通过信号线与光电传感器放大器的输入端连接，所述光电传感器放大器通过信号线与电磁阀连接，所述电磁阀安装在气管上，所述气管连接压缩干燥空气产生装置，所述气管的另一端连接有喷气口。
2.如权利要求1所述的基板表面清洁装置，其特征在于，所述气管上安装有节流阀。
3.如权利要求1所述的基板表面清洁装置，其特征在于，所述喷气口为双排孔金属喷气管。
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