[实用新型]一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪有效
| 申请号： | 201520966075.5 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN205619875U | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 许诚昕;刘俊;邓娜;彭烨;张白 | 申请（专利权）人： | 成都信息工程大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 韩洋 |
| 地址： | 610225 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 波长 修正 光束 阶梯 平面 反射 激光 干涉仪 | ||
【说明书】：
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