[实用新型]一种分子泵机组一键启停系统有效
| 申请号： | 201520963282.5 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN205207236U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 郑荣禧;王辉 | 申请（专利权）人： | 四川九天真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 637200 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 机组 一键启停 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种分子泵机组一键启停系统，其特征在于：所述系统包括： 分子泵机组、真空计、断电延时继电器、控制器、一键启停开关和电 源，所述分子泵机组包括前级泵和分子泵，所述前级泵通过波纹管连 接至所述分子泵，所述分子泵通过过渡管道连接至真空系统，所述电 源分别与所述分子泵、所述前级泵和所述控制器连接，所述分子泵与 所述电源之间安装有分子泵通电开关及所述前级泵与所述电源之间 安装有前级泵通电开关，所述控制器分别与所述分子泵通电开关、所 述前级泵通电开关、所述真空计、所述断电延时继电器和所述一键启 停开关连接，所述真空计安装在所述过渡管道上，所述断电延时继电 器与所述分子泵连接。
2.根据权利要求1所述的一种分子泵机组一键启停系统，其特征 在于：所述前级泵通电开关为断电延时断开开关。
3.根据权利要求2所述的一种分子泵机组一键启停系统，其特 征在于：所述系统还包括远程监视及控制设备，所述远程监视及控制 设备与控制器连接。
4.根据权利要求3所述的一种分子泵机组一键启停系统，其特 征在于：所述系统还包括报警器，所述报警器分别与控制器和电源连 接。
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