[实用新型]一种用于分子泵的牵引筒

说明书

技术领域

本实用新型属于流体机械技术领域，尤其是应用于真空泵中，具 体来说涉及一种用于分子泵的牵引筒。

背景技术

分子泵作为一种可以获得清洁高真空的真空获得设备，已被广泛 应用于半导体等行业中。目前，分子泵主要有两种，一种是涡轮分子 泵，另一种是复合分子泵。其中涡轮分子泵可以获得较大的抽速，但 难以获得较大的压缩比，而在一些半导体行业中，要求在较宽的压力 范围内具有较大的抽速，而涡轮分子泵并不合适。

对于复合分子泵，在获得较大抽速的同时，还可获得较大的压缩 比，因此在半导体等行业中被广泛应用。现有的复合分子泵主要分为 两类，一类是由涡轮分子泵与盘式牵引分子泵组合设计而成，即带盘 式牵引结构的复合分子泵；另一类是由涡轮分子泵与筒式牵引分子泵 组合设计而成，即带筒式牵引结构的复合分子泵。对于第一类复合分 子泵，尽管其具有较大的抽速，但受到盘式牵引分子泵抽气方式的限 制，其使用率并不高。对于第二类复合分子泵，是现阶段使用最为普 遍的复合分子泵，不但具有较大的抽速，同时还具有较高的抽气效率。

尽管带筒式牵引结构的复合分子泵在结构上满足了涡轮级与牵 引级气流方向的一致性，但是，由于涡轮级抽速与牵引级抽速存在着 较大差别，牵引级与涡轮级之间的这种抽速不匹配会导致复合泵实际 抽速的下降，影响复合分子泵的抽气效率。只有进一步改善复合分子 泵的牵引级与涡轮级之间的抽速匹配关系，进而缩小实际抽速与理论 抽速之间的差距，才能够保证复合分子泵良好的抽气效率和抽气性 能。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用于分子泵的牵引 筒，包括：圆筒形的定子和定子内圆柱面上的带锥度的多条螺旋槽， 多条螺旋槽为由定子内圆柱面上的多条矩形螺旋槽齿形成的矩形断 面形状的沟槽，多条螺旋槽自上而下向外张开具有一个锥度。

根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，圆筒形的定子的内径 固定不变。

根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条螺旋槽的宽度相 同及多条矩形螺旋槽齿的宽度相同。

根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条螺旋槽的宽度为 10mm～40mm。

根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条螺旋槽的槽深及 容积自上而下逐渐变大。

根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条螺旋槽的螺距为 定子内圆柱面的高度。

根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，多条矩形螺旋槽齿的 宽度为2mm～10mm。

根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，锥度为2°～5°。

根据上述一种用于分子泵的牵引筒，其中，圆筒形的定子下部有 定位台阶。

有益效果

本实用新型公开了一种用于分子泵的牵引筒，充分利用圆柱外圆 较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果，而通过 螺旋槽通道与抽气方向之间的夹角(螺旋升角)匹配来达到较理想 的抽气效果。

附图说明

图1是本实用新型公开的一种用于分子泵的牵引筒的侧面透视 图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但 不作为对本实用新型的限定。

图1是本实用新型公开的一种用于分子泵的牵引筒的侧面透视 图，如图1所示，本实用新型提供了一种用于分子泵的牵引筒，包括： 圆筒形的定子01和定子01内圆柱面上的带锥度的多条螺旋槽02， 圆筒形的定子01的内径D固定不变，多条螺旋槽02为由定子01内 圆柱面上的多条矩形螺旋槽齿03形成的矩形断面形状的沟槽，多条 螺旋槽02的宽度相同及多条矩形螺旋槽齿03的宽度相同，多条螺旋 槽02的宽度为10mm～40mm，多条矩形螺旋槽齿03的宽度为 2mm～10mm，多条螺旋槽02的槽深及容积自上而下逐渐变大，多条螺 旋槽02的螺距为定子01内圆柱面的高度，多条螺旋槽02自上而下 向外张开具有一个锥度，锥度为2°～5°，圆筒形的定子01下部有 定位台阶04，方便与分子泵装配。

以上所述，仅是本实用新型较佳的实施方式，并非对本实用新型 的技术方案做任何形式上的限制。凡是依据本实用新型的技术实质对 以上实施例做任何简单修改，形式变化和修饰，均落入本实用新型的 保护范围。