[实用新型]一种感应加热金红石单晶体生长炉有效
| 申请号: | 201520962478.2 | 申请日: | 2015-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN205241849U | 公开(公告)日: | 2016-05-18 |
| 发明(设计)人: | 唐坚;刘旭东;张瑞青;毕孝国;孙旭东 | 申请(专利权)人: | 东北大学 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/16 |
| 代理公司: | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人: | 屈芳 |
| 地址: | 110819 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 感应 加热 金红石 单晶体 生长 | ||
1.一种感应加热金红石单晶体生长炉,其特征在于,包括:
炉壳;炉壳为通过陶瓷板隔开的上腔体与下腔体,炉壳的顶端设置有进料 口;
第一加热装置,包括导电陶瓷管置于上腔体内作为加热段,导电陶瓷管为 进料口与下腔体的进料通道,导电陶瓷管外套设石英管,石英管外缠绕第一电 磁感应线圈,上腔体内填充保温岩棉;
生长室,设置在下腔体内,与导电陶瓷管共中心轴相通,在生长室内设置 可升降的基座杆,第一加热装置下方设置为生长室的生长区,对应生长区的侧 面开设观察窗;
第二加热装置,包括设置晶体生长区的下方的生长室的保温层内的第二电 磁感应线圈形成保温段。
2.按照权利要求1所述的生长炉,其特征在于,所述生长室与导电陶瓷管 连接处设置在陶瓷板上,为广口结构,在广口结构区域作为晶体生长区。
3.按照权利要求1所述的生长炉,其特征在于,进料口为喷嘴。
4.按照权利要求1所述的生长炉,其特征在于,所述加热段的高度为 120~160mm。
5.按照权利要求1所述的生长炉,其特征在于,所述保温段的高度为 170~200mm。
6.按照权利要求1所述的生长炉,其特征在于,所述第一电磁感应线圈电 流可调范围为50~130A,温度变化范围为900~2800℃。
7.按照权利要求1所述的生长炉,其特征在于,所述第二电磁感应线圈电 流范围10~50A,温度变化为500~1500℃。
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