[实用新型]一种堆叠基板的抓取分离装置有效
| 申请号: | 201520957352.6 | 申请日: | 2015-11-26 |
| 公开(公告)号: | CN205248240U | 公开(公告)日: | 2016-05-18 |
| 发明(设计)人: | 刘大鹏;廖庆林;蒋开发;张勇 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 堆叠 抓取 分离 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,尤其涉及一种堆叠基板的抓取分离装置。
背景技术
近年来,太阳能硅电池技术的不断发展,新工艺层出不穷,硅电池的转换效率不停被刷新。面对竞争越来越激烈的国内外市场,传统工艺被淘汰成为必然趋势。
电池片在制造过程中需要将堆叠的硅片分开,单一的输送至工艺设备中,现有技术中比较常用的方式是人工直接将堆叠的硅片手工分开,将单个硅片直接放置在工艺设备上,或是人工将堆叠的硅片手工分开放置在专用载篮中,再由自动化设备从专用载篮中将硅片输送至工艺设备中。此两种方法均增加人工对硅片的污染,并且人工操作速度慢、碎片率高,大大降低了硅片的工艺效率和产品质量。
实用新型内容
为解决现有技术中存在的缺陷,本实用新型提出一种堆叠基板的抓取分离装置,该抓取分离装置可实现基板的自动分离抓取,降低基板的破损率,提高基板的生产质量。
本实用新型采用的技术方案是,设计一种堆叠基板的抓取分离装置,包括:机台、设于机台上用于放置基板的载篮机构、设于载篮机构下方可向上顶起基板的顶升机构、设于载篮机构顶部两侧可分离堆叠基板的分离机构、设于载篮机构上方可吸取单个基板的吸取机构、设于吸取机构一侧可运送单个基板的输送机构,吸取机构可移动单个基板,并将其放置在输送机构上。
载篮机构包括:横向设于顶升机构上方的第一运动组件、设于第一运动组件上的载篮,第一运动组件可带动载篮在顶升机构的上方横向往复运动,载篮内放置有堆叠基板。第一运动组件上横向并排设置有两组载篮。第一运动组件可推动载篮运动,自动更换载篮,以减少换篮对生产效率的影响。
顶升机构包括:设于载篮机构下方的升降杆、与升降杆传动连接的第二运动组件,载篮移动到升降杆上方时,升降杆向上运动穿过第一运动组件顶起基板。
分离机构包括:对称设于顶升机构上方的两支撑板、开口相对设于两支撑板顶端的两分离气口、与分离气口连接的供气装置。载篮运动至顶升机构上方时,两支撑板恰好位于所述载篮纵向方向的两侧。
吸取机构包括:纵向设于载篮机构上方的第三运动组件、设于第三运动组件上的第四运动组件、与第四运动组件传动连接的吸盘、与吸盘连接的供气装置,第三运动组件可带动吸盘纵向移动,第四运动组件可带动吸盘升降运动。
其中,上述的第一运动组件、第三运动组件可采用包含动力源的导轨滑块结构,上述的第二运动组件可采用电动执行件、第四运动组件可采用气动执行件,输送机构可采用传送带结构。
较优的,每组载篮中设有至少一个载篮,顶升机构内设有与每组载篮中载篮数量相对应的升降杆,升降杆之间的间距与每组载篮中载篮的间距相配合,每个升降杆上方均设有分离机构,所述吸取机构内设有与每组载篮中载篮数量相对应的吸盘,吸盘之间的间距也与每组载篮中载篮之间的间距相配合。
与现有技术相比,本实用新型内设有载篮机构、顶升机构、分离机构、吸取机构及输送机构,载篮机构将堆叠基板运送至顶升机构上方,顶升机构将堆叠基板顶起,分离机构堆叠基板分离后,由吸取机构将基板单个取起放置在输送机构上,输送机构再将基板运送到下一个工序,整个基板分离抓取过程全机械化自动运动,无需人工干预,避免了传统技术中基板污染破损等问题,工艺效率高、产品质量好。
附图说明
下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明,其中:
图1是本实用新型的整体结构示意图;
图2是本实用新型中载篮机构、顶升机构及分离机构的结构示意图;
图3是本实用新型中吸取机构的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型提出的抓取分离装置,包括:机台1、设于机台1上的载篮机构2、设于载篮机构2下方的顶升机构3、设于载篮机构2顶部一侧的分离机构4、并排设于载篮机构2上方的吸取机构5及输送机构6。
如图2所示,载篮机构2包括:用于放置堆叠基板7的载篮21、可带动载篮21横向移动的第一运动组件22,载篮21的底部中空,载篮21内放置有可支撑堆叠基板7的支撑板23,第一运动组件22可采用包含动力源的导轨滑块结构,两直线导轨横向固定在载篮21底部两侧,滑块固定在机台1上,动力源推动导轨带动载篮21进行横向运动。当载篮21内装满堆叠基板时,载篮21位于顶升机构3上方,载篮21内的堆叠基板取完后,第一运动组件22将载篮21推向一侧,向载篮21内添加堆叠基板7,第一运动组件22再将满载的载篮21推回顶升机构上方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





