[实用新型]一种堆叠基板的抓取分离装置有效

专利信息
申请号: 201520957352.6 申请日: 2015-11-26
公开(公告)号: CN205248240U 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: 刘大鹏;廖庆林;蒋开发;张勇 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 代理人: 胡朝阳;孙洁敏
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区横*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 堆叠 抓取 分离 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及硅片加工设备技术领域,尤其涉及一种堆叠基板的抓取分离装置。

背景技术

近年来,太阳能硅电池技术的不断发展,新工艺层出不穷,硅电池的转换效率不停被刷新。面对竞争越来越激烈的国内外市场,传统工艺被淘汰成为必然趋势。

电池片在制造过程中需要将堆叠的硅片分开,单一的输送至工艺设备中,现有技术中比较常用的方式是人工直接将堆叠的硅片手工分开,将单个硅片直接放置在工艺设备上,或是人工将堆叠的硅片手工分开放置在专用载篮中,再由自动化设备从专用载篮中将硅片输送至工艺设备中。此两种方法均增加人工对硅片的污染,并且人工操作速度慢、碎片率高,大大降低了硅片的工艺效率和产品质量。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的缺陷,本实用新型提出一种堆叠基板的抓取分离装置,该抓取分离装置可实现基板的自动分离抓取,降低基板的破损率,提高基板的生产质量。

本实用新型采用的技术方案是,设计一种堆叠基板的抓取分离装置,包括:机台、设于机台上用于放置基板的载篮机构、设于载篮机构下方可向上顶起基板的顶升机构、设于载篮机构顶部两侧可分离堆叠基板的分离机构、设于载篮机构上方可吸取单个基板的吸取机构、设于吸取机构一侧可运送单个基板的输送机构,吸取机构可移动单个基板,并将其放置在输送机构上。

载篮机构包括:横向设于顶升机构上方的第一运动组件、设于第一运动组件上的载篮,第一运动组件可带动载篮在顶升机构的上方横向往复运动,载篮内放置有堆叠基板。第一运动组件上横向并排设置有两组载篮。第一运动组件可推动载篮运动,自动更换载篮,以减少换篮对生产效率的影响。

顶升机构包括:设于载篮机构下方的升降杆、与升降杆传动连接的第二运动组件,载篮移动到升降杆上方时,升降杆向上运动穿过第一运动组件顶起基板。

分离机构包括:对称设于顶升机构上方的两支撑板、开口相对设于两支撑板顶端的两分离气口、与分离气口连接的供气装置。载篮运动至顶升机构上方时,两支撑板恰好位于所述载篮纵向方向的两侧。

吸取机构包括:纵向设于载篮机构上方的第三运动组件、设于第三运动组件上的第四运动组件、与第四运动组件传动连接的吸盘、与吸盘连接的供气装置,第三运动组件可带动吸盘纵向移动,第四运动组件可带动吸盘升降运动。

其中,上述的第一运动组件、第三运动组件可采用包含动力源的导轨滑块结构,上述的第二运动组件可采用电动执行件、第四运动组件可采用气动执行件,输送机构可采用传送带结构。

较优的,每组载篮中设有至少一个载篮,顶升机构内设有与每组载篮中载篮数量相对应的升降杆,升降杆之间的间距与每组载篮中载篮的间距相配合,每个升降杆上方均设有分离机构,所述吸取机构内设有与每组载篮中载篮数量相对应的吸盘,吸盘之间的间距也与每组载篮中载篮之间的间距相配合。

与现有技术相比,本实用新型内设有载篮机构、顶升机构、分离机构、吸取机构及输送机构,载篮机构将堆叠基板运送至顶升机构上方,顶升机构将堆叠基板顶起,分离机构堆叠基板分离后,由吸取机构将基板单个取起放置在输送机构上,输送机构再将基板运送到下一个工序,整个基板分离抓取过程全机械化自动运动,无需人工干预,避免了传统技术中基板污染破损等问题,工艺效率高、产品质量好。

附图说明

下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明,其中:

图1是本实用新型的整体结构示意图;

图2是本实用新型中载篮机构、顶升机构及分离机构的结构示意图;

图3是本实用新型中吸取机构的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示,本实用新型提出的抓取分离装置,包括:机台1、设于机台1上的载篮机构2、设于载篮机构2下方的顶升机构3、设于载篮机构2顶部一侧的分离机构4、并排设于载篮机构2上方的吸取机构5及输送机构6。

如图2所示,载篮机构2包括:用于放置堆叠基板7的载篮21、可带动载篮21横向移动的第一运动组件22,载篮21的底部中空,载篮21内放置有可支撑堆叠基板7的支撑板23,第一运动组件22可采用包含动力源的导轨滑块结构,两直线导轨横向固定在载篮21底部两侧,滑块固定在机台1上,动力源推动导轨带动载篮21进行横向运动。当载篮21内装满堆叠基板时,载篮21位于顶升机构3上方,载篮21内的堆叠基板取完后,第一运动组件22将载篮21推向一侧,向载篮21内添加堆叠基板7,第一运动组件22再将满载的载篮21推回顶升机构上方。

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