[实用新型]一种量子效率测试夹具

权利要求书

1.一种量子效率测试夹具，其特征在于：包括位移组件和设置在位移组件上的夹持组件，所述位移组件包括沿X方向的第一位移机构、设于第一位移机构上的沿Y方向的第二位移机构和设于第二位移机构上的沿Z方向的第三位移机构，

所述夹持组件包括样品靠板和配合的弹簧夹，所述弹簧夹和板面共同构成夹持机构；

所述夹持组件设于第三位移机构上，且具有Z方向的运动自由度。

2.根据权利要求1所述的量子效率测试夹具，其特征在于：所述第一位移机构包括沿X方向设置的第一导轨、贯穿于第一导轨内部的第一丝杆和设于第一导轨内与第一丝杆相配合的第一位移部，

所述第二位移机构包括设于第一位移部上沿Y方向的第二导轨、贯穿于第二导轨内部的第二丝杆和设于第二导轨内与第二丝杆相配合的第二位移部，

所述第三位移机构包括设于第二位移部上的定位块，所述定位块上设有沿Z方向的第三丝杆和分布于第三丝杆两侧的导杆，所述导杆另一端设有限位块，所述限位块上设有供第三丝杆穿过的通孔，所述第三丝杆上设有与其配合的第三位移部，所述第三位移部上设有供导杆穿过的通孔，

所述样品靠板与第三位移部固定。

3.根据权利要求2所述的量子效率测试夹具，其特征在于：所述第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆上均设有锁止机构。

4.根据权利要求1所述的量子效率测试夹具，其特征在于：所述第一位移机构包括沿X方向设置的第一滑轨、设于第一滑轨内的第一滑块和与第一滑块固定的第一气缸，

所述第二位移机构包括设于第一滑块上沿Y方向的第二滑轨、设于第二滑轨内的第二滑块和与第二滑块固定的第二气缸，

所述第三位移机构包括设于第二滑块上沿Z方向的第三滑轨、设于第三滑轨内的第三滑块和与第三滑块固定的第三气缸，所述样品靠板与第三滑块固定。

5.根据权利要求1所述的量子效率测试夹具，其特征在于：所述样品靠板沿Z方向设置。

6.根据权利要求1所述的量子效率测试夹具，其特征在于：所述夹持组件还包括与样品靠板固定连接的支撑板。

7.根据权利要求6所述的量子效率测试夹具，其特征在于：所述支撑板在X方向上背离所述第三位移机构水平向外延伸并超出所述样品靠板。

8.根据权利要求1所述的量子效率测试夹具，其特征在于：所述弹簧夹包括与样品靠板的一侧固定连接的弹性件及与所述弹性件弹性连接的夹针，所述夹针与待测样品之间设有间隙。