[实用新型]多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置有效
| 申请号： | 201520948879.2 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN205139042U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王勇 | 申请（专利权）人： | 浙江恒都光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人： | 郑文涛 |
| 地址： | 314416 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 石英 坩埚 裂缝 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置，包括检测灯具(1)， 其特征在于，所述检测灯具(1)上固定有支架(2)，所述支架(2) 与安装支脚(3)通过螺栓组件(4)固定连接，所述支架(2)/所述 安装支脚(3)临近所述安装支脚(3)/所述支架(2)的一侧设有多 个围绕所述螺栓组件(4)呈环形间隔设置的定位凹槽(5)，所述安 装支脚(3)/所述支架(2)对应的位置设有适于与所述定位凹槽(5) 配合的至少一个定位凸台。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置， 其特征在于，所述安装支脚(3)上成型有沿其长度方向设置的加强 筋条。
3.根据权利要求2所述的多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置， 其特征在于，还包括进一步固定安装所述检测灯具(1)的固定装置。
4.根据权利要求3所述的多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置， 其特征在于，所述固定装置为连接在所述支架(2)上的拉绳(6)或 拉杆组件。
5.根据权利要求1所述的多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置， 其特征在于，所述定位凹槽(5)及所述定位凸台为冲压成型。
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