[实用新型]一种2英寸芯片光刻胶剥离用花篮

权利要求书

1.一种2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，包括花篮本体、卡槽单元和支架单元，其特征 是，花篮本体上设置有卡槽单元，每个卡槽单元设置有两个沟槽，两个沟槽之间设置有将 其隔开的挡板；花篮本体的底部设置有支撑柱；花篮本体上设置有支架单元。

2.根据权利要求1所述的2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，其特征是，所述花篮本体呈 长方体。

3.根据权利要求1所述的2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，其特征是，所述卡槽单元在 花篮本体上平行均匀设置。

4.根据权利要求1所述的2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，其特征是，所述相邻卡槽单 元的间距为1.5cm。

5.根据权利要求1所述的2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，其特征是，所述支撑柱为圆 柱体。

6.根据权利要求1所述的2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，其特征是，所述挡板呈扇形， 其上分布有孔洞。

7.根据权利要求1所述的2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，其特征是，所述支架单元由 连接在一起的把手和侧架组成。

8.根据权利要求7所述的2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，其特征是，所述侧架呈三角 形。

9.根据权利要求7所述的2英寸芯片光刻胶剥离用花篮，其特征是，所述把手呈门型。