[实用新型]一种基板传动机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及基板传输领域，尤其是一种基板传动机构。

背景技术

在半导体制造领域，需要采用基板传动机构传输基板。一般来说，基板传动机构包括传动杆和传输滚轮(ConveyorRoller)，传输滚轮固定在传动杆上，并随着传动杆的转动而转动，待传输的基板铺设在传输滚轮上，通过传动杆带动传输滚轮转动，传输滚轮进而带动基板，使得基板贴着传输滚轮传输。在传输基板(例如，玻璃基板、蓝宝石基板)时，容易发生基板位置偏移预定基板传输路线的情况，如果发生该情况，则基板常常会破片，这会影响生产进度，降低产能。

为了解决上述问题，现有的方法是在基板传动机构中加装气缸和校准辊(AlignRoller)，气缸和校准辊均设置在竖直方向上，气缸和校准辊均设置在基板传输路线的两侧，通过气缸控制校准辊的高度。在传输基板时，基板边缘的位置会受到两侧校准辊的限制，进而实现了对基板的限位。

然而，加装气缸和校准辊的设计具有以下缺点：气缸和校准辊的组合结构复杂，成本高，不易安装；校准辊或气缸发生故障时，尤其是在气缸发生故障时，更换过程耗时耗力，互换性较差；为了实现对基板的传输，需要采用多个传动杆，多个传动杆两两间隔设置，在两个传动杆之间的区域一般只加装一套气缸和校准辊的组合，因此，当基板进入两个传动杆之间的区域后，且还未受到下一套气缸和校准辊的限位时，基板仍然容易偏移，尤其是有外部干扰时，基板还是会破片，而如果在两个传动杆之间的区域加装多套气缸和校准辊的组合，虽然能提高对基板的限位效果，但却又必然会提高成本。因此，有必要提供一种简单高效的基板传动机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基板传动机构，以解决现有基板传动机构结构复杂、安装不便、成本较高和限位效果较差的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种基板传动机构，包括用于传输基板的传动单元、用于对基板限位的导轨平台和用于支撑所述导轨平台的支撑单元，在基板传输路线两侧均设置有所述导轨平台，所述导轨平台通过支撑单元固定在所述传动单元上，两侧所述导轨平台均包括沿基板传输方向设置的导轨单元，待传输的基板铺设在所述传动单元上，所述基板分别与两侧导轨平台的导轨单元接触设置，通过所述传动单元带动基板沿所述导轨单元传输。

进一步地，在基板传输路线的两侧均设置有所述支撑单元，所述支撑单元包括轴承，所述传动单元包括传动杆和传输滚轮，所述传输滚轮套设在传动杆上，并随着所述传动杆的转动而转动，待传输的基板铺设在所述传输滚轮上，两侧的所述导轨平台分别通过各自支撑单元中的轴承固定在传动杆上，所述支撑单元还包括支架模块，所述支架模块的一端固定在导轨平台上，另一端固定在轴承的外圈上，任一所述导轨平台处均设置有多个相互间隔的所述传动杆，多个所述传动杆上均设置有所述轴承。

进一步地，任一所述导轨平台处均设置有两个相互间隔的传动杆，任一侧的所述支架模块均包括第一支架模块和第二支架模块，所述导轨平台通过第一支架模块与一传动杆上的轴承固定连接，所述导轨平台还通过第二支架模块与另一传动杆上的轴承固定连接。

进一步地，所述第一支架模块包括第一支架、第二支架和连杆，所述连杆分别与第一支架和第二支架相固定，所述第一支架与第二支架之间具有间隙，所述连杆通过第一支架和第二支架固定在所述一传动杆上，所述第二支架模块固定在导轨平台上，所述第二支架模块上具有齿状结构，所述齿状结构具有在竖直方向上不同位置处的多个凹槽，所述连杆设置在所述齿状结构的一个凹槽中，所述第二支架模块设置在第一支架和第二支架之间，通过调节所述连杆的位置使连杆设置在所述齿状结构的不同凹槽中，进而改变所述导轨平台在竖直方向上的高度。

进一步地，所述第一支架模块还包括第四支架，所述第四支架固定在所述一传动杆上的轴承上，所述第一支架和第二支架均固定在第四支架上，或者所述第一支架和第二支架均固定在所述一传动杆上的轴承上。。

进一步地，还包括气缸和第五支架，所述第五支架固定在支撑单元上，所述气缸设置在第五支架与导轨平台之间，通过调节所述气缸使得导轨平台的水平度与基板的水平度相匹配和/或调节导轨平台的高度使得基板便于存放。

进一步地，所述导轨平台还包括第一限位平板，所述导轨单元设置在第一限位平板上，所述第一限位平板通过支撑单元固定在所述传动单元上，所述导轨单元设置在所述第一限位平板的侧壁上，所述导轨平台还包括第二限位平板，所述导轨单元设置在第二限位平板上，两侧所述导轨平台的第二限位平板分别固定在所述第一限位平板的上表面处或分别固定在第一限位平板的下表面处。