[实用新型]一种压电驱动二维扫描微镜有效
| 申请号： | 201520925939.9 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN205281014U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李文翔 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李阳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 驱动 二维 扫描 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电驱动二维扫描微镜，其特征在于：包括二维扫描微镜主体以及 紧贴在其下面的压电驱动器，所述压电驱动器包括基板以及紧贴在所述基板上 面的压电陶瓷块；所述二维扫描微镜主体具有能够在两相垂直的方向上分别做 谐振转动的反射镜。
2.根据权利要求1所述的压电驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述二维 扫描微镜主体包括具有背腔的外框架，所述外框架通过第一扭转轴连接有置于 所述背腔内的内框架，所述内框架通过垂直于所述第一扭转轴的第二扭转轴连 接所述反射镜。
3.根据权利要求2所述的压电驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述第一 扭转轴为两个，分别连接所述内框架相对的两侧。
4.根据权利要求2所述的压电驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述第二 扭转轴为两个，分别位于所述反射镜中心轴的两端。
5.根据权利要求1所述的压电驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述基板 为PCB板、金属板中的一种。
6.根据权利要求2所述的压电驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述压电 陶瓷块通过环氧树脂粘结、金属焊料粘结中的一种连接方式紧贴在所述外框架 下面。
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