[实用新型]电子背散射衍射分析样品夹具

说明书

技术领域

本实用新型属于检验工具领域，特别涉及一种电子背散射衍射分析用样品夹具。

背景技术

电子背散射衍射技术通过自动标定背散射衍射花样，测定大块样品表面的晶体微区取向， 广泛应用于晶粒尺寸、宏观织构、微区织构、再结晶/变形分散、亚结构、应变分析、晶界表 征、相鉴别、相分布、失效分析等检测分析工作中。

电子背散射衍射花样来自于样品表面，对样品表面光洁度要求较高，必须无应力干扰层。 由于电子束大电流长时间的轰击样品，因此要求样品导电性良好。此外，为了最大量的获取 衍射花样信号，样品要在倾斜70度的大角度下进行分析，所以必须保证样品与样品台牢牢地 固定在一起。

通常，因样品要被倾斜70度，为了用导电胶带将样品固定在样品台上，样品要切割成厚 度在3mm以内的薄片，由于太薄不宜夹持，给磨削、抛光带来很大的困难，也不利于去除表 明应力干扰层。此外，为了保证导电，要用导电胶带固定样品，导电胶带较贵，耗材成本较 大，且会给样品室带来污染。但即便是用导电胶带固定，在几千倍的高倍下分析样品时，也 会出现因样品移动或导电不良而产生取向成像图失焦、变形等问题，直接影响检测分析工作。

发明内容

本实用新型旨在提供一种导电性好，可以牢固地固定样品，从而保证获得稳定、真实、 准确的晶体微区取向信息的电子背散射衍射分析样品夹具。

为此，本实用新型所采取的技术解决方案是：

一种电子背散射衍射分析样品夹具，由连接杆、底座、紧固螺杆及夹片组成；在底座后 端的两侧分别一体式连接有一“L”形夹片，连接杆通过螺纹连接在底座中心位置上，底座两 侧中间分别设有一螺栓孔，螺栓孔内分别设有紧固螺杆。

所述底座和夹片均采用铝板加工而成。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型结构简单，易于加工，可替代导电胶带固定样品，环保节约；导电性好，可 以牢固地固定样品，在大角度倾斜时样品不会掉落，保证在大束流长时间的电子束激发下， 也不会出现因导电不良电荷累积引起的电子图像漂移、变形等问题，有效保证获得稳定、真 实、准确的晶体微区取向信息。同时，本实用新型可扩大用于电子背散射衍射分析的样品尺 寸，方便前序的磨制抛光。确保样品表面光洁无干扰层。

附图说明

图1是样品夹具主视图；

图2是样品夹具左视图。

图中：连接杆1、底座2、紧固螺杆3、夹片4。

具体实施方式

由附图可见，本实用新型电子背散射衍射分析样品夹具，系由连接杆1、底座2、紧固螺 杆3及夹片4所组成。底座2为一平板，夹片4呈“L”形，底座2和夹片4均采用铝板加工 而成。在底座2后端的两侧分别一体式连接有一夹片4，连接杆1通过螺纹连接在底座2的 中心位置上，底座2两侧的中间分别设有一螺栓孔，螺栓孔内分别设有紧固螺杆3。

将样品制成厚10mm，长25mm，宽10mm的金相试样，分别用抛光机、抛光液、抛光布抛 光处理后，放入底座2与夹片4之间，试样下表面贴在夹片4上，旋转紧固螺杆3将试样固 定住。然后将连接杆1插入样品台连接孔，拧紧样品台上螺栓后即可进行电子背散射衍射分 析。