[实用新型]一种新型鳍式场效应晶体管有效
| 申请号： | 201520915736.1 | 申请日： | 2015-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN205140989U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 刘新科;何佳铸;刘强;俞文杰;吕有明;韩舜;曹培江;柳文军;曾玉祥;贾芳;朱德亮 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 王利彬 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 场效应 晶体管 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型鳍式场效应晶体管，包括衬底以及位于衬底上的鳍式结构，其 特征在于，所述鳍式结构由下至上依次包括：
覆盖于所述衬底上具备高介电常数的第一绝缘层，所述第一绝缘层的中部 向上延伸出一鳍状凸起；
覆盖于所述第一绝缘层上的有源层，所述有源层具有用于包裹所述鳍状凸 起的第一包裹部；
覆盖于所述有源层上的第二绝缘层，所述第二绝缘层具有用于包裹所述第 一包裹部的第二包裹部；
形成于所述第二绝缘层的第二包裹部两侧的漏极和源极；
覆盖于所述第二绝缘层上用于包裹所述第二包裹部的栅极。
2.如权利要求1所述的新型鳍式场效应晶体管，其特征在于，所述有源层 的材质为硫化钼。
3.如权利要求1所述的新型鳍式场效应晶体管，其特征在于，所述有源层 的材质为硫化钨。
4.如权利要求1所述的新型鳍式场效应晶体管，其特征在于，所述有源层 的材质为黑磷。
5.如权利要求1所述的新型鳍式场效应晶体管，其特征在于，所述第一绝 缘层的材质为二氧化铪。
6.如权利要求1所述的新型鳍式场效应晶体管，其特征在于，所述第二绝 缘层的材质为二氧化铪。
7.如权利要求1所述的新型鳍式场效应晶体管，其特征在于，所述第一包 裹部、第二包裹部、栅极均呈倒U状。
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