[实用新型]热波成像膜层厚度检测系统有效
申请号: | 201520908679.4 | 申请日: | 2015-11-14 |
公开(公告)号: | CN205228414U | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 陈力 | 申请(专利权)人: | 南京诺威尔光电系统有限公司 |
主分类号: | G01B21/08 | 分类号: | G01B21/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210038 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 成像 厚度 检测 系统 | ||
1.一种热波成像膜层厚度检测系统,其特征在于,所述系统包括:
热激励单元(22),所述热激励单元(22)用于产生高能量脉冲辐射,并在被测试件(24)表面激发脉冲热波;
热激励驱动源(21),所述热激励驱动源(21)用于驱动所述热激励单元(22);
红外成像装置(25),所述红外成像装置(25)采用逐行扫描方式,用于采集所述被测试件(24)表面的热波信号;
数据采集处理系统(27),所述数据采集处理系统(27)用于采集热波图像及进行分析处理;
同步控制单元(23),所述同步控制单元(23)用于调整所述热激励单元(22)和红外成像装置(25)图像采集之间的时序关系。
2.根据权利要求1所述的热波成像膜层厚度检测系统,所述热激励单元(22)为大功率闪光灯。
3.根据权利要求1所述的热波成像膜层厚度检测系统,所述热激励单元(22)为大功率激光器。
4.根据权利要求1所述的热波成像膜层厚度检测系统,所述红外成像装置(25)包括一维红外阵列探测器(51)与扫描振镜(53)。
5.根据权利要求1所述的热波成像膜层厚度检测系统,所述红外成像装置(25)包括单像素红外探测器与二维扫描振镜。
6.一种热波成像膜层厚度检测系统,其特征在于,所述系统包括:
热激励单元(22),所述热激励单元(22)用于产生高能量脉冲辐射,并在被测试件(24)表面激发脉冲热波;
热激励驱动源(21),所述热激励驱动源(21)用于驱动所述热激励单元(22);
数据采集处理系统(27),所述数据采集处理系统(27)用于采集热波图像及进行分析处理;
移动平台(62),所述移动平台(62)用于承载所述被测试件(24)进行一维扫描;
一维红外阵列探测器(51),所述一维红外阵列探测器(51)用于采集所述被测试件(24)表面的热波信号;
同步控制单元(23),所述同步控制单元(23)用于调整所述热激励单元(22)与所述一维红外阵列探测器(51)和所述移动平台(62)之间的时序关系。
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